Вестник Воронежского государственного университета. Серия: Физика. Математика №1 2002 (290,00 руб.)

Стр.1

Стр.2

Стр.3

№1, 2002 г. | ФИЗИКА, МАТЕМАТИКА СОДЕРЖАНИЕ: РАЗДЕЛ ФИЗИКА: • В. Р. Гитлин, С. Г. Кадменский, М. Н. Левин, С. С. Остроухов, А. В. Татаринцев Рентгеновская корректировка пороговых напряжений в производстве МДП интегральных схем • О. И. Дубровский, Н. А. Борщ, В. В. Задорожний, С. И. Курганский Электронная структура и спектральные характеристики тонких пленок системы Tl2Ba2Can-1CunO2n+4 (n = 1, 2, 3) • И. А. Зюльков Самоподобные свойства трафика систем с повторными вызовами • И. В. Копытин, М. А. Шихалев, Е. М. Щербаков Эффекты ππ-корреляций при обмене σ- и ρ-мезонами в πN-рассеянии • В. И. Костылев Вероятность правильного энергетического обнаружения узкополосных радиосигналов с амплитудой накагами на фоне белого шума неизвестной интенсивности • С. Д. Кургалин, Ю. М. Чувильский Кварковые кластеры и высокоэнергетические процессы в ядрах • С. И. Курганский, Е. В. Левицкая, Н. С. Переславцева Спектральные характеристики дисилицида молибдена • А. Н. Ларионов, В. В. Чернышёв, Ю. Ф. Мелихов, О. А. Тиняков Релаксационные свойства жидких кристаллов во вращающихся и конических магнитных полях • А. С. Сидоркин, А. С. Сигов Дисперсия диэлектрической проницаемости в полидоменных сегнетоэлектриках • А. П. Трифонов, А. В. Захаров Эффективность совместных оценок параметров сигналов при нарушении условий регулярности решающей статистики РАЗДЕЛ МАТЕМАТИКА: • М. А. Артемов, С. Н. Пупыкин, А. В. Рыжков Вариант теории пластического течения анизотропных материалов • Н. Б. Баева, Ю. В. Бондаренко Методы экстраполяции выявленных предпочтений (на примере рассредоточенного потребительского рынке мегаполиса) • А. Г. Баскаков, К. И. Чернышов О некоторых вопросах спектральной теории линейных отношений • Т. В. Белоглазова

Стр.1

Разрешимость некоторых классов разнопорядковых дифференциальных уравнений на графе • Н. Д. Вервейко, А.Л. Фролов Вдавливание тонкого осесимметричного тела в полупространство из связного сыпучего материала • Д. А. Воротников О движении нелинейно-вязкой жидкости в Rn • А. В. Глушак О задаче типа Коши для неодноpодного абстрактного дифференциального уравнения с дробной производной • Д. Е. Елагин, А. Н. Спорыхин, Ю. Д. Щеглова Об одном точном решении задачи о сжато-скрученном цилиндрическом стержне • Д. В. Елисеев Спектральные свойства обощенных решений дифференциальных уравнений • Н. А. Жданкина Об одном подходе к качественному анализу на плоскости сложной динамической системы с рентноориентированным управлением • Ю. В. Засорин Метод псевдопотенциала для нелинейного волнового уравнения • И. А. Криштал О критериях обратимости в алгебре каузальных операторов • Ю. Г. Курицын О бессрочной ренте со случайной ставкой • М. А. Латынина Итерированная задача Коши с оператором Лежандра в банаховом пространстве • С.Д. Махортов О технологии многоуровневой разработки программных систем • А. И. Перов, И. Д. Коструб Метод направляющих функций в задаче о нелинейных почти-периодических колебаниях • М. Е. Эксаревская Вспомогательные оценки для неполной блочной факторизации с диагональной компенсацией

Стр.2

ВЕСТНИК ÂÃÓ, Серия ôèçèêà, математика, 2002, ¹ 1 РАЗДЕЛ ФИЗИКА УДК 621.3.049.77 РЕНТГЕНОВСКАЯ КОРРЕКТИРОВКА ПОРОГОВЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В ПРОИЗВОДСТВЕ МДП ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ © 2002 ã. Â. Ð. Ãèòëèí, Ñ. Ã. Кадменский, Ì. Í. Ëåâèí, Ñ. Ñ. Остроухов, À. Â. Татаринцев* Воронежский государственный университет Воронежский государственный педагогический университет* Представлена технология прецизионного управления пороговыми напряжениями МДП ИС с использованием мягкого рентгеновского (10—20 кэВ) и ближнего ультрафиолетового излучений. Управление параметрами МДП ИС основано на возможности формирования стабильного радиационно-индуцированного заряда в подзатворном слое двуокиси кремния с примесью фосфора. Обобщен опыт использования разработанных радиационно-технологических процессов в серийном производстве широкого класса МДП ИС. ВВЕДЕНИЕ Радиационно-технологические процессы (РТП) в современной микроэлектронике основаны на воздействии различных излучений, обеспечивающих контролируемые изменения параметров полупроводниковых материалов и структур [1, 2]. РТП характеризуются простотой технической реализации и контроля, воспроизводимостью и совместимостью со стандартными технологическими маршрутами. Исследования воздействий ионизирующих излучений на МДП интегральные схемы (ИС) первоначально проводились для решения проблем радиационной стойкости [3]. Сформировавшиеся при этом представления о нестабильности радиационно-индуцированного заряда в слоях подзатворного окисла, справедливые для технологий изготовления р-канальных МДП ИС с алюминиевыми затворами, сохранились и после перехода производства на n-канальные МДП-технологии типа LОСOS с самосовмещенными поликремниевыми затворами. Долгое время это сдерживало применение радиационных воздействий для регулировки параметров МДП ИС. Попытки создания промышленно пригодных РТП на основе высокоэнергетических частиц и гамма-квантов тормозились низкой производительностью процессов из-за слабого поглощения таких излучений в тонких планарных слоях МДП-структур. Повышение мощности потоков высокоэнергетических из5 лучений приводило к снижению воспроизводимости РТП и существенно повышало требования к оборудованию по радиационной безопасности. Указанные факторы также препятствовали разработкам РТП, совместимым со стандартными технологическими маршрутами изготовления серийных МДП ИС. В настоящей работе представлены РТП прецизионной регулировки пороговых напряжений МДП ИС, основанные на использовании мягкого рентгеновского и ближнего ультрафиолетового (УФ) излучений, которые были внедрены в серийное производство и позволили значительно улучшить технико-экономические показатели выпускаемой продукции. ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОГО РАДИАЦИОННОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ Исследования были начаты с сопоставления воздействий на параметры МДП-структур различных видов излучения, а именно, гамма-квантов с энергией ~1,2 МэВ, мягкого и жесткого рентгеновских излучений с энергиями квантов ~15 кэВ (X1) и ~150 кэВ (Õ2), высокоэнергетических (~3,5 МэВ) и низкоэнергетических (10—35 êýÂ) электронов, а также альфа-частиц с энергией ~5 МэВ. В качестве облучателей использовались установка с источником гамма-квантов Со60 , линейный электронный ускоритель ЭЛУ-4, электронный сканирующий микроскоп СЭМ-200, установка с альфа-источником Ро210 , рентгеновская уста

Стр.3