ЕЖЕМЕСЯЧНЫЙ
НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ
ИПPОИЗВОДСТВЕННЫЙ
ЖУPНАЛ
УЧPЕДИТЕЛИ
ФГБУ науки
Институт пpобëеì упpавëения
иì. В. А. Трапезникова PАН,
НП “Наöионаëüная техноëоãи÷еская
паëата”,
ООО “Сенсиäат-Пëþс” (изäатеëü)
Гë. реäактор
Заì. ãë. pеäактоpа
Заì. ãë. pеäактоpа
Гë. pеäактоp ИКА
Отв. секретарü
Ф. Ф. Пащенко
Н. Н. Кузнецова
А. Ф. Каперко
В. Ю. Кнеллер
Г. М. Баpанова
Выпускаþщий реäактор С. В. Суханова
PЕДАКЦИОННАЯ КОЛЛЕГИЯ
Р. Р. Бабаян, ä. т. н., проф.,
Г. М. Баранова,
С. Н. Васиëüев, акаä. РАН,
Г. И. Джанäжãава, ä. т. н., проф.,
А. Н. Житков, к. т. н., äоö.,
Э. Л. Иöкови÷, ä. т. н., проф.,
С. И. Касаткин, ä. т. н., проф.,
А. М. Касиìов, ä. т. н.,
А. Ф. Каперко, ä. т. н., проф.,
В. Ю. Кнеëëер, ä. т. н., проф.,
Л. Н. Коëоìиеö, к. т. н.,
Н. Н. Кузнеöова,
Б. В. Лункин, к. т. н.,
В. П. Морозов, ä. т. н.,
Д. А. Новиков, ÷ë.-корр. РАН,
П. П. Пархоìенко, ÷ë.-корр. РАН,
Ф. Ф. Пащенко, ä. т. н., проф.,
Г. А. Пикина, ä. т. н., проф.,
Б. И. Поäëепеöкий, к. т .н., äоö.,
В. В. Поëяков,
Н. Л. Прохоров, ä. т. н., проф.,
О. С. Сироткин, ÷ë.-корр. РАН,
В. А. Шахнов, ÷ë.-корр. РАН,
М. С. Шкабарäня, ä. т. н., проф.,
И. Б. Яäыкин, ä. т. н., проф.
PЕГИОНАЛЬНЫЕ PЕДСОВЕТЫ
(руководители)
Санкт-Петеpбуpг
В. Г. Кноppинã, ä. т. н., проф. — (812) 297-60-01
Нижний Новгород
С. М. Никуëин, ä. т. н., проф. — (831) 436-78-40
Екатеринбург
С. В. Порøнев, ä. т. н., проф. — (343) 375-97-79
Новосибиpск
Ю. В. Чуãуй, ä. т. н., проф. — (383-3) 33-73-60
Красноярск
В. Г. Патþков, ä. т. н., проф. — (391-2) 912-279
Бийск
Ю. А. Гаëенко, ä. т. н., проф. — (3854) 43-25-69
В. А. Абанин, ä. т. н., проф. (3854) 43-25-71
Пенза
М. А. Щербаков, ä. т. н., проф. — (841-2) 56-37-08
Рязань
С. Н. Кириëëов, ä. т. н., проф. — (491-2) 92-04-55
Ульяновск
Н. Г. Яруøкина, ä. т. н., проф. — (842-2) 43-03-22
Ижевск
В. А. Аëексеев, ä. т. н., проф. — (341-2) 21-29-33
Оренбург
М. Г. Ку÷еpенко, ä. т. н., проф. — (353-2) 77-34-19
Владимир
В. Н. Устþжанинов, ä. т. н., проф. —
(492-2) 33-59-67
Тула
В. Я. Pаспопов, ä. т. н., проф. — (487-2) 35-19-59
Воронеж
В. К. Битþков, ä. т. н., проф. — (473-2) 55-36-94
Курск
В. С. Титов, ä. т. н., проф. — (471-2) 58-71-12
Тамбов
С. В. Мищенко, ä. т. н., проф. — (475-2) 72-10-19
Астрахань
И. Ю. Петрова, ä. т. н., проф. — (851-2) 25-73-11
Минск
И. С. Манак, к. ф.-ì. н. — (417) 278-13-13
Уфа
В. Г. Гусев, ä. т. н., проф. — (347-2) 23-77-89
1
СОДЕРЖАНИЕ
Представляет кафедра микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ
Бочаров Ю. И., Бутузов В. А., Симаков А. Б. Коìпëект интеãраëüных ìикросхеì äëя
сбора äанных с ìатриö креìниевых фотоэëектронных уìножитеëей . . . . . . . . . . . . . 4
Симаков А. Б., Онищенко Е. М., Журавлев Б. В. и äр. Аппаратно-проãраììный коìпëекс
äëя иссëеäования инäивиäуаëüноãо вëияния СВЧ-изëу÷ения на карäиоритìику
÷еëовека . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Шунков В. Е., Кусь О. Н., Прокопьев В. Ю. и äр. Интеãраëüный ìноãофазный преобразоватеëü
постоянноãо напряжения на перекëþ÷аеìых конäенсаторах . . . . . . . . . . . 15
Шагурин И. И., Жихарев Г. Ю. Высокопроизвоäитеëüные криптобëоки äëя испоëüзования
в составе “систеì на кристаëëе” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Веселов Д. С., Воронов Ю. А. Особенности приìенения жиäкостноãо травëения креìния
в техноëоãии изãотовëения МЭМС-структур . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Веселов Д. С., Воронов Ю. А. Тепëоизоëируþщие свойства äиэëектри÷еских ìеìбранных
конструкöий ÷увствитеëüных эëеìентов äат÷иков конöентраöии ãазов . . . . . . . . 29
Самотаев Н. Н. Микроìощные наãреватеëи äëя терìоконäуктоìетри÷еских äат÷иков 33
Самотаев Н. Н., Облов К. Ю., Иванова А. В. и äр. Эконоìи÷ная техноëоãия форìирования
ìетаëëи÷еских сëоев на кераìи÷еских пëенках äëя ãазо÷увствитеëüных äат÷иков
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Шалтаева Ю. Р., Макарова Н. В., Першенков В. С. и äр. Испоëüзование охранноãо
возäуøноãо потока в спектроìетре ионной поäвижности äëя повыøения ка÷ества
изìерений . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Липатов Д. Ю., Родионов А. А., Шалтаева Ю. Р. и äр. Сорбöионные свойства ìатериаëов
вхоäноãо канаëа спектроìетра ионной поäвижности . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Шуренков В. В. Действие СВЧ-изëу÷ения на характеристики поëупровоäниковых
äиоäов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Барбашов В. М., Подлепецкий Б. И., Трушкин Н. С. Моäеëирование раäиаöионной
наäежности öифровых устройств на функöионаëüно-ëоãи÷ескоì уровне . . . . . . . . . . 54
Елушов И. В., Зебрев Г. И., Лебедев А. А. Моäеëирование раäиаöионной ÷увствитеëüности
бипоëярных ИМС с у÷етоì изìен÷ивости усëовий косìи÷ескоãо окружения . . . 58
Орешков П. Н., Попов В. Д. Проãнозирование вероятности отказа flash-паìяти при
низкоинтенсивноì обëу÷ении . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Подлепецкий Б. И., Бакеренков А. С., Сухорослова Ю. В. Метоäика ìоäеëирования
раäиаöионной ÷увствитеëüности МДП-транзисторных эëеìентов äат÷иков . . . . . . . . 64
Фелицын В. А., Бакеренков А. С., Родин А. С. и äр. Иссëеäование скорости раäиаöионной
äеãраäаöии креìниевых и SiGe бипоëярных транзисторов . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Родин А. С., Бакеренков А. С., Фелицын В. А. и äр. Схеìотехни÷еские ìетоäы повыøения
раäиаöионной стойкости отражатеëей тока операöионных усиëитеëей . . . . . . 73
ИЗМЕРЕНИЯ, КОНТРОЛЬ, АВТОМАТИЗАЦИЯ (журнал в журнале)
Лапшинский В. А. На пути к интеëëектуаëüныì ìикросхеìаì паìяти . . . . . . . . . . . . 77
Конференции, сиìпозиуìы, сеìинары (иþнü—äекабрü 2016 ã.) . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
Журнаë вкëþ÷ен в Пере÷енü веäущих реöензируеìых изäаний ВАК и в RSCI на базе Web of Science
Подписные индексы: 79363 в катаëоãе Роспе÷ати; 40874 в катаëоãе “Пресса России”
АДPЕС PЕДАКЦИИ: 117997, ГСП-7, Москва, уë. Пpофсоþзная, 65, к. 383. Теë./факс: (495) 330-42-66
www.datsys.ru. E-mail: datsys@mail.ru
Ориãинаë-ìакет и эëектронная версия поäãотовëены ИП Прохоров О. В.
Отпе÷атано в типоãрафии “Техинпресс”. Заказ 37/05. Поäписано в пе÷атü 15.04.2016.
Жуpнаë переpеãистpиpован в Феäераëüной сëужбе по наäзору в сфере связи и ìассовых коììуникаöий 26.12.2013.
ПИ №ФС 77-56548
Sensors & Systems · ¹ 4.2016
Жуpнаë вкëþ÷ен в Российский инäекс нау÷ноãо öитирования (РИНЦ). На сайте Нау÷ной эëектронной бибëиотеки
(www.elibrary.ru) äоступны поëные тексты статей.
© Сенсидат-Плюс, 2016
¹ 4 (202)
АПРЕЛЬ 2016
Стр.3
MONTHLY
SCIENTIFIC-TECHNICAL
AND PRACTICAL JOURNAL
FOUNDERS
V. A. Trapeznikov Institute of Control Sciences,
Russian Academy of Sciences,
Non-commercial partnership
“National technological house”,
LLC “Sensidat-Plus” (publisher)
Editor-in-Chief
Deputy Editor-in-Chief
Deputy Editor-in-Chief
EDITORIAL BOARD
Babayan R. R., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Baranova G. M.,
Vasilyev S. N., Acad., RAS,
Dzhandzhgava G. I., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Zhitkov A. N., Ph. D. (Tech.), Assoc. Prof.,
Itskovich E. L., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Kasatkin S. I., D. Sc. (Tech.), prof.,
Kasimov A. M., D. Sc. (Tech.),
Kaperko A. F., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Kneller V. Yu., Prof., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Kolomiets L. N., Ph. D. (Tech.),
Kuznetsova N. N.,
Lunkin B. V., Ph. D. (Tech.),
Morozov V. P., D. Sc. (Tech.),
Novikov D. A., Corr. mem., RAS,
Parkhomenko P. P., Corr. mem., RAS,
Pashchenko, F. F., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Pikina G. A., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Podlepetskiy B. I., Ph. D. (Tech.), Assoc. Prof.,
Polyakov V. V.,
Prokhorov N. L., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Sirotkin O. S., Corr. mem., RAS,
Shakhnov V. A., Corr. mem., RAS,
Shkabardnya M. S., D. Sc. (Tech.), Prof.,
Yadykin I. B., D. Sc. (Tech.), Prof.
REGIONAL EDITORIAL COUNCILS
(leaders)
Saint-Petersburg
Knorring, V. G., D. Sc. (Tech.), Prof. — (812) 297-60-01
Nizhny Novgorod
Nikulin, S. M., D. Sc. (Tech.), Prof. — (831) 436-78-40
Ekaterinburg
Porshnev, S. V., D. Sc. (Tech.), Prof. — (343) 375-97-79
Novosibirsk
Chuguy, Yu. V., D. Sc. (Tech.) — (383-3) 33-73-60
Krasnoyarsk
Patyukov, V. G., D. Sc. (Tech.), Prof. — (391-2) 912-279
Biysk
Galenko, Yu. A., Dr. Sci. (Tech.) — (3854) 43-25-69
Abanin, V. A., D. Sc. (Tech.) — (3854) 43-25-71
Penza
Shcherbakov, M. A., D. Sc. (Tech.), Prof. —
(841-2) 56-37-08
Ryazan
Kirillov, S. N., D. Sc. (Tech.), Prof. — (491-2) 92-04-55
Ulyanovsk
Yarushina, N. G., D. Sc. (Tech.), Prof. —
(842-2) 43-03-22
Izhevsk
Alekseev, V. A., Dr. D. Sc. (Tech.), Prof. —
(341-2) 21-29-33
Orenburg
Kucherenko, M. G., D. Sc. (Phys.-Math.), Prof. —
(353-2) 77-34-19
Vladimir
Ustyuzhaninov, V. N., D. Sc. (Tech.), Prof. —
(492-2) 33-59-67
Tula
Raspopov, V. Ya., D. Sc. (Tech.), Prof. —
(487-2) 35-19-59
Voronezh
Bityukov, V. K., D. Sc. (Tech.), Prof. — (473-2) 55-36-94
Kursk
Titov, V. S., D. Sc. (Tech.), Prof. — (471-2) 58-71-12
Tambov
Mishchenko, S. V., D. Sc. (Tech.), Prof. —
(475-2) 72-10-19
Astrakhan
Petrova, I. Yu., D. Sc. (Tech.), Prof. — (851-2) 25-73-11
Minsk
Manak, I. S., Ph. D. (Phys.-Math.), Assoc. Prof. —
(417) 278-13-13
Ufa
Gusev, V. G., D. Sc. (Tech.), Prof. — (347-2) 23-77-89
Department of micro- and nanoelectronics of MEPhI presents
Bocharov Yu. I., Butuzov V. A., Simakov A. B. A chipset for readout and analog to digital
conversion of signals of silicon photomultiplier arrays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Simakov A. B., Onishhenko E. M., Zhuravlev Boris V., et al. Hard-software complex for
research of microwave individual affect on human heart rate variability . . . . . . . . . . . . . . . 9
Shunkov V. E., Kus O. N., Prokop'ev V. Yu., et al. Switch Capacitor based multiphase
DC/DC converter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Shagurin I. I., Zhiharev G. Yu. High-performance cryptoblocks for using in “systems on
chip” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21
Veselov D. S., Voronov Yu. A. Features of silicon wet etching for MEMS structures manufacturing
technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Veselov D. S., Voronov Yu. A. Heat-insulating properties of dielectric membrane structures
for gas sensors sensitive elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Samotaev N. N. Microhotplate for thermal conductivity sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Samotaev N. N., Oblov K. Yu., Ivanova A. V., et al. Efficient technology for the metal layers
formation on ceramic films for gas-sensing sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Shaltaeva Yu. R., Makarova N. V., Pershenkov V. S., et al. The protective gas flow for
measurements improvement in ion mobility spectrometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Lipatov D. Yu., Rodionov A. A., Shaltaeva Yu. R., et al. The inlet channel materialssorbtion
properties in ion mobility spectrometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Shurenkov V. V. Microwave electromagnetic radiation effects on semiconductor diodes . . . 50
Barbashov V. M., Podlepetsky B. I., Trushkin N. S. Radiation reliability assessment of digital
integrated circuits by the functional-logic level simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
Elushov I. V., Zebrev G. I., Lebedev A. A. Bipolar IC radiation responsemodelling under
cosmic environment variability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Oreshkov P. N., Popov V. D. Forecasting of probability of refusal of flash-memory at low
intensive irradiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Podlepetsky B. I., Bakerenkov A. S., Sukhoroslova Yu. V. Radiation sensitivity modeling
technique of sensor MIS-transistor elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Felitsyn V. A., Bakerenkov A. S., Rodin A. S., et al. Radiation degradation rate investigation
of silicon and heterojunction SiGe bipolar transistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Rodin A. S., Bakerenkov A. S., Felitsyn V. A., et al. Schematic techniques for radiation
hardness improvement of current mirrors of operational amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
MEASUREMENT, CONTROL, AUTOMATION (Journal in journal)
Lapshisky V. A. In the fair way to the smart and intelligent memory chips . . . . . . . . . . . . . 77
Conferences, symposiums, seminars (June—December 2016) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
The journal is included into the list of the leading reviewed by Higher Attestation Commission’s periodicals, publishing
basic results of doctoral and candidate dissertations (2015) and into RSCI based on Web of Science (2015).
Subscription codes: 79363 in the Russian press catalogue; 40874 in the catalogue “The Press of Russia”
EDITORIAL ADDRESS: 65 Profsoyuznaya st., office 383, Moscow, 117997. Tel./fax: (495) 330-42-66
www.datsys.ru. E-mail: datsys@mail.ru
The layout and the electronic version are prepared by IE Prokhorov О. V.
Printed by “Tekhinpress” print house Order 37/05. Signed for press on 15.04.16.
The journal is reregistered in the Federal service for supervision in the sphere of communication and mass communications
26.12.2013. PI № FS 77-56548
The journal is included into the Russian Science Citation Index (RSCI in Web of Science). On the website of the Scientific
electronic library (www.elibrary.ru) articles’ full-texts are available.
© Sensidat-Plus, 2016
Pashchenko, F. F.
Kuznetsova, N. N.
Kaperko, A. F.
Editor-in-Chief of MCA Kneller, V. Yu.
Executive Secretary
Managing editor
Baranova, G. M.
Sukhanova S. V.
CONTENT
¹ 4 (202)
APRIL
2016
Стр.4