УДК 681.3.049.77.681.586`33 ЭКОНОМИЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ НА КЕРАМИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ ДЛЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ1 EFFICIENT TECHNOLOGY FOR THE METAL LAYERS FORMATION ON CERAMIC FILMS FOR GAS-SENSING SENSORS 1) Самотаев Николай Николаевич канд. техн. наук, доцент E-mail: nnsamotaev@mephi.ru 1) Облов Константин Юрьевич ассистент Е-mail: kyoblov@mephi.ru 1) Иванова Анастасия Владимировна ассистент Е-mail: avivanova@mephi.ru 2) Васильев Алексей Андреевич д-р техн. наук, вед. научн. сотрудник E-mail: a-a-vasiliev@yandex.ru 2) Соколов Андрей Владимирович научн. сотрудник E-mail: sok44@yandex.ru 3) Ким Виталий Павлович аспирант E-mail: vp.kim@physics.msu.ru 3) Ткачев Сергей Викторович научн. сотрудник E-mail: tkachev_svmsu@mail.ru 3) Губин Сергей Павлович главный научный сотрудник E-mail: gubin@igic.ras.ru 4) Потапов Глеб Николаевич инженер E-mail: potapov.g@ostec-group.ru 4) Кохтина Юлия Вячеславовна инженер E-mail: julia.kohtina@ostec-group.ru 4) Низан Антон Вячеславович начальник отдела E-mail: anton.nissan@ostec-group.ru 1) Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва 2) Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”, Москва 3) ООО “АкКо Лаб”, Москва 4) Предприятие “Остек”, Москва 1) Samotaev Nikolay N. Ph. <...> Lecturer Е-mail: kyoblov@mephi.ru 1) Ivanova Anastasia V. Leturer Е-mail: avivanova@mephi.ru 2) Vasiliev Alexey A. D. <...> Sokolov Andrey V. Researcher E-mail: sok44@yandex.ru 3) Kim Vitaliy P. Postgraduate E-mail: vp.kim@physics.msu.ru 3) Tkachev Sergey V. Researcher E-mail: tkachev_svmsu@mail.ru 3) Gubin Sergey P. Chief Researcher E-mail: gubin@igic.ras.ru 4) Potapov Gleb N. Engineer E-mail: potapov.g@ostec-group.ru 4) Kokhtina Yulia V. <...> 36 Sensors & Systems · ¹ 4.2016 Аннотация: Представлен подход, при котором объединяются преимущества керамической МЭМС-технологии и преимущества недорогих технологий для изготовления элементов газочувствительных датчиков. <...> Разработаны проводящие наночастицы серебра, золота и платины размером от 10 до 30 нм, применяемые в струйных и аэрозольных принтерах и позволяющие изготовить проводящие линии нагревательных элементов и электродов датчика. <...> Комбинация струйной печати на керамическую пленку и лазерной резки позволяют изготовить недорогие датчики, работающие <...>