УДК 621.3.049 ТЕПЛОИЗОЛИРУЮЩИЕ СВОЙСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МЕМБРАННЫХ КОНСТРУКЦИЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ HEAT-INSULATING PROPERTIES OF DIELECTRIC MEMBRANE STRUCTURES FOR GAS SENSORS SENSITIVE ELEMENTS Веселов Денис Сергеевич канд. техн. наук, ассистент E-mail: Deonis86@inbox.ru Воронов Юрий Александрович канд. техн. наук, доцент E-mail: yavoronov@mephi.ru Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва Аннотация: Проведено изучение теплоизолирующих свойств диэлектрических мембранных конструкций для чувствительных элементов датчиков концентрации газа. <...> Получены двумерные модели распределения температуры на мембранах из различных диэлектрических материалов. <...> Проведена оценка полученных результатов и выработаны рекомендации по выбору материала теплоизолирующих мембранных конструкций для чувствительных элементов датчиков концентрации газа. <...> Ключевые слова: диэлектрическая пленка, диэлектрическая мембрана, чувствительный элемент, чувствительный слой, датчик концентрации газа. <...> ВВЕДЕНИЕ При создании полупроводниковых датчиков давления, ускорения, концентрации газов используются технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). <...> Это сокращает сроки проектирования полупроводниковых датчиков и снижает их стоимость. <...> Важнейшим критерием эффективности работы чувствительного элемента (ЧЭ) датчика концентрации газа на основе диэлектрической мембранной конструкции является теплоизоляция чувствительного слоя (ЧС) от подложки и корпуса ЧЭ. <...> Очевидно, что уровень теплоизоляции в подобных конструкциях зависит от выбора материалов мембран, от чего также зависят конструкция и выбор материала нагревателя, а как следствие — Veselov Denis S. Ph. <...> (Tech.), Associate Professor E-mail: yavoronov@mephi.ru National Research Nuclear University MEPhI, Moscow Abstract: The heat-insulating properties of dielectric membranes for gas sensors sensitive elements were studied. <...> Two-dimensional temperature distributions on membranes from different dielectric materials in different moments of the cycle of heating and cooling were obtained. <...> Was carried out the estimation of study results and the recommendations on the choosing of heat-insulating material was <...>