УДК 681.586`36.66.048.58 МИКРОМОЩНЫЕ НАГРЕВАТЕЛИ ДЛЯ ТЕРМОКОНДУКТОМЕТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ MICROHOTPLATE FOR THERMAL CONDUCTIVITY SENSOR Самотаев Николай Николаевич канд. техн. наук, доцент E-mail: nnsamotaev@mephi.ru Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва Аннотация: Представлена новая гибкая технология изготовления микронагревателей для датчиков теплопроводности газовых сред. <...> ВВЕДЕНИЕ В статье проведена оценка возможности изготовления мелкосерийных партий микронагревателей для термокондуктометрических датчиков с использованием технологий селективного лазерного спекания [1]. <...> Существуют различные способы изготовления микронагревателей для газочувствительных датчиков, способных выполнять термокондуктометрические измерения в газовой среде [2]. <...> В Российской Федерации, начиная с 1960-х годов, и до сих пор при массовом производстве таких датчиков используют технологию изготовления микронагревателей из платинового микропровода [3, 4]. <...> Была предпринята попытка заменить технологию платинового микропровода, которая базировалась на применении комбинации планарной технологии мембран из оксида алюминия и вакуумного напыления металлов [5, 6]. <...> Однако подобный подход оказался эффективным лишь для массового производства датчиков одного типа. <...> Он требует относительно дорогого оборудования, характерного для производства интегральных микросхем с использованием микро- и нанотехнологий, и не обладает достаточной гибкостью при мелкосерийном производстве разнотипных датчиков. <...> В данной работе предлагается новая технология производства маломощных микронагревателей термокондуктометрических датчиков, имеющих различную конструкцию, позволяющая снизить их себестоимость и скорость изготовления благодаря использованию более широкодоступного недорогого оборудования и неспециализированного программного обеспечения. <...> ПРОВЕДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТА И ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ В качестве материала для микронагревателя <...>