Экономика - политика - культура Теоретическая и математическая физика Теоретические основы химической технологии* Теория вероятностей и ее применение Теплофизика высоких температур* Труды Математического института имени В.А. Стеклова* Успехи математических наук Успехи современной биологии Успехи физиологических наук Физика Земли* Физика и техника полупроводников* Физика и химия стекла* Физика металлов и металловедение* Физика плазмы* Физика твердого тела* Физикохимия поверхности и защита материалов* Физиология растений* Физиология человека* Функциональный анализ и его применение Химическая физика* Химия высоких энергий* Химия твердого топлива* Цитология* Человек Экология* Экономика и математические методы Электрохимия* Энергия, экономика, техника, экология Этнографическое обозрение Энтомологическое обозрение* Ядерная физика* * Материалы журнала издаются группой Pleiades Publishing на английском языке http://www.naukaran.com МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Том 46, Номер 2 Март - Апрель 2017 ISSN 0544-1269 “Н АУ К А” ISSN 0544-1269 Микроэлектроника, 2017, том 46, № 2 СОДЕРЖАНИЕ Том 46, номер 2, 2017 ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ Встраиваемый в технологию процесс CVD-роста УНТ с использованием каталитических тонких пленок Ct–Me–N–O Д. Г. Громов, С. В. Булярский, С. В. Дубков, А. А. Павлов, С. Н. Скорик, А. Ю. Трифонов, А. С. Шулятьев, Ю. П. Шаман, Е. П. Кицюк, А. А. Дудин, А. П. Сиротина, С. А. Гаврилов Оптимизация процесса синтеза УНТ с целью повышения эффективности химических постобработок получаемого материала А. А. Павлов, А. В. Сыса, Ю. П. Шаман, М. И. Базарова, И. М. Гаврилин, А. А. Полохин Формирование и исследование тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов с применением композитного материала анода УНТ-кремний Е. П. <...> Кицюк, Т. Л. Кулова, А. А. Павлов, А. М. Скундин Намагничивание пленок пермаллоя Р. Д. Тихонов, А. А. Черемисинов Газофазное травление слоев SiO2 в смеси HF/C2H5OH Г. А. Рудаков КВАНТОВЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ Элементная <...>
Микроэлектроника_№2_2017.pdf
СОДЕРЖАНИЕ
Том 46, номер 2, 2017
ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Встраиваемый в технологию процесс CVD-роста УНТ с использованием
каталитических тонких пленок Ct–Me–N–O
Д. Г. Громов, С. В. Булярский, С. В. Дубков, А. А. Павлов, С. Н. Скорик,
А. Ю. Трифонов, А. С. Шулятьев, Ю. П. Шаман, Е. П. Кицюк,
А. А. Дудин, А. П. Сиротина, С. А. Гаврилов
Оптимизация процесса синтеза УНТ с целью повышения эффективности
химических постобработок получаемого материала
А. А. Павлов, А. В. Сыса, Ю. П. Шаман, М. И. Базарова,
И. М. Гаврилин, А. А. Полохин
Формирование и исследование тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов
с применением композитного материала анода УНТ-кремний
Е. П. Кицюк, Т. Л. Кулова, А. А. Павлов, А. М. Скундин
Намагничивание пленок пермаллоя
Р. Д. Тихонов, А. А. Черемисинов
Газофазное травление слоев SiO2 в смеси HF/C2H5OH
Г. А. Рудаков
КВАНТОВЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Элементная база квантовой информатики I: кубиты квантового компьютера
на основе одиночных атомов в оптических ловушках
И. И. Рябцев, И. И. Бетеров, Е. А. Якшина, Д. Б. Третьяков,
В. М. Энтин, И. Г. Неизвестный, А. В. Латышев, А. Л. Асеев
Элементная база квантовой информатики II: квантовые коммуникации
с одиночными фотонами
И. И. Рябцев, Д. Б. Третьяков, А. В. Коляко, А. С. Плешков,
В. М. Энтин, И. Г. Неизвестный, А. В. Латышев, А. Л. Асеев
МОДЕЛИРОВАНИЕ
Моделирование термоэлектрических генераторов с использованием программной
платформы ANSYS: методики, практические приложения, перспективы
А. С. Коротков, В. В. Лобода, С. Б. Макаров, А. Фельдхофф
Моделирование распределения потенциала в неоднородно легированной
рабочей области двух затворного КНИ КМОП нанотранзистора
Н. В. Масальский
151
142
131
118
97
104
114
91
83
Стр.3