104–113 ТЕХНОЛОГИИ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.3.049.77.002 НАМАГНИЧИВАНИЕ ПЛЕНОК ПЕРМАЛЛОЯ © 2017 г. Р. Д. Тихонов, А. А. Черемисинов Научно-производственный комплекс “Технологический центр” МИЭТ, Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. <...> 5 E-mail: R.Tikhonov@tcen.ru Поступила в редакцию 17.03.2016 г. Исследованы магнитные свойства пленок пермаллоя, изготовленных по технологии локального электрохимического осаждения из хлоридного электролита. <...> Определены зависимости намагничивания от режима осаждения, состава и геометрии локального осаждения. <...> Установлено, что намагничивание концентраторов, состоящих из многих элементов дает возможность расширить диапазон магнитного поля до выхода в насыщение. <...> Использование пленок пермаллоя с разным содержанием железа позволяет управлять характеристиками намагничивания. <...> В магнитополупроводниковых микросистемах используют пленки пермаллоя для концентраторов магнитного поля, повышающих чувствительность. <...> DOI: 10.7868/S0544126917020107 ВВЕДЕНИЕ Cовременные магнитополупроводниковые микросистемы (МПМС) в своем составе используют пассивные элементы усиления магнитного поля, значительно повышающие индукцию магнитного поля непосредственно в области магниточувствительного преобразователя. <...> Эти элементы получили название концентраторы магнитного поля (КМП). <...> Их применение в составе МПМС позволяет в несколько раз повысить чувствительность к магнитному полю и расширить области применения МПМС [1]. <...> Наиболее распространенным материалом для КМП является сплав NiFe (пермаллой) из-за высоких магнитомягких свойств [2]. <...> Магнитные характеристики пермаллоя – индукция насыщения BS и начальная магнитная проницаемость µH в зависимости от процентного содержания никеля Ni представлены на рис. <...> Пермаллой с 81% Ni обладает высокой максимальной относительной магнитной проницаемостью µ ~ 100000, что характеризует высокий коэффициент усиления магнитного поля, малой коэрцитивной силой менее 1 Э, но проявляются <...>