УДК 686.78.555.012.2 КОНТРОЛЬ ФАЗОВОЙ АНИЗОТРОПИИ В ПРОЦЕССЕ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ЗЕРКАЛ THE PHASE ANISOTROPY CONTROL OF INTERFERENCE MIRRORS DURING PRODUCTION PROCESS Лобанов Петр Юрьевич вед. инженер Мануйлович Иван Сергеевич канд. физ.-мат. наук, научн. сотрудник Сидорюк Олег Евгеньевич канд. физ.-мат. наук, нач. лаборатории E-mail: dipole@sumail.ru ОАО “Научно-исследовательский институт “Полюс” им. <...> М. Ф. Стельмаха”, Москва Аннотация: Описана система оптического контроля, обеспечивающая внесение на завершающих стадиях технологического процесса расчетных корректировок для компенсации суммарного влияния погрешностей толщин изготовления осажденных слоев на величину индуцируемой фазовой анизотропии. <...> Рассмотрены также вопросы оптимизации измерительной системы и способы уменьшения ее погрешности. <...> ВВЕДЕНИЕ Для контроля оптических характеристик интерференционных покрытий в процессе производства разработан ряд систем из высокочувствительных датчиков массы осаждаемых слоев, различных фотометров и широкополосных спектральных анализаторов [1—5]. <...> Однако при создании прецизионных тонкопленочных конструкций желательно производить мониторинг по ключевому параметру, значение которого необходимо оптимизировать. <...> В частности, для ряда задач (например, для зеркал кольцевых лазе36 Lobanov Petr Yu. <...> Keywords: interference mirror, the phase anisotropy, optical control, polarimetry. ров с круговой поляризацией [6]) важен такой параметр лазерных зеркал, как фазовая анизотропия, которая при нанесении многослойного покрытия более чувствительна к погрешностям в задании толщин отдельных слоев, чем, например, значения коэффициентов отражения или пропускания [7]. <...> Данная работа посвящена разработке системы оптического контроля интерференционных зеркал для измерения фазовой анизотропии отражающих покрытий на завершающих стадиях процесса их производства. <...> Целью такого контроля является внесение необходимых корректировок значений параметров последних осаждаемых слоев для компенсации <...>