ЕЖЕМЕСЯЧНЫЙ
НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ
И ПPОИЗВОДСТВЕННЫЙ
ЖУPНАЛ
УЧPЕДИТЕЛИ
Институт пpобëеì упpавëения
иì. В. А. Трапезникова PАН,
Московский ãосуäаpственный институт
эëектpоники и ìатеìатики, “МВТК”
(Ассоöиаöия äеëовоãо и нау÷но-техни÷ескоãо
сотруäни÷ества в обëасти ìаøиностроения,
высоких техноëоãий и конверсии.
Наöионаëüная техноëоãи÷еская паëата),
ООО “СенСиДат-Контроë” (pеäакöия)
Гë. реäактор
Заì. ãë. pеäактоpа
Заì. ãë. pеäактоpа
Гë. pеäактоp ИКА
Нау÷ный реäактор
Ф.Ф. Пащенко
Н.Н. Кузнецова
А.Ф. Каперко
В.Ю. Кнеллер
Г.М. Баpанова
Выпускаþщий реäактор С. В. Суханова
PЕДАКЦИОННАЯ КОЛЛЕГИЯ
Р.Р. Бабаян, Г.М. Баранова, Г.И. Джанäжãава,
В.Г. Доìpа÷ев, А.Н. Житков, Э.Л. Иöкови÷,
А.Ф. Каперко, В.Ю. Кнеëëер, Л.Н. Коëоìиеö,
Н.Н. Кузнеöова, В.П. Морозов, Ф.Ф. Пащенко,
Г.А. Пикина, Б.И. Поäëепеöкий, В.В. Поëяков,
Н.Л. Прохоров, И.Б. Яäыкин
PЕГИОНАЛЬНЫЕ PЕДСОВЕТЫ
(руководители)
Санкт-Петеpбуpг
В.Г. Кноppинã —
(812) 297-60-01
Нижний Новгород
С.М. Никуëин —
(831) 436-78-40
Екатеринбург
С.В. Порøнев —
(343) 375-97-79
Челябинск
Л.И. Боpиøпоëüский —
(351-2) 41-45-26
Новосибиpск
Ю.В. Чуãуй —
(383-3) 33-73-60
Красноярск
В.Г. Патþков —
(391-2) 912-279
Бийск
Ю.А. Гаëенко —
(3854) 43-25-69
Л.С. Звоëüский
(3854) 30-59-44
Пенза
Е.А. Мокров —
(841-2) 56-55-63
М.А. Щербаков —
(841-2) 56-37-08
Рязань
С.Н. Кириëëов —
(491-2) 92-04-55
Ульяновск
Н.Г. Яруøкина —
(842-2) 43-03-22
Уфа
В.Г. Гусев —
(347-2) 23-77-89
Ижевск
В.А. Аëексеев —
(341-2) 21-29-33
Журнаë вкëþ÷ен в Пере÷енü веäущих
реöензируеìых изäаний ВАК, пубëикуþщих
основные резуëüтаты äокторских и канäиäатских
äиссертаöий (октябрü 2010 ã.)
Подписные индексы:
79363 в катаëоãе Роспе÷ати; 40874 в катаëоãе
“Пресса России”
АДPЕС PЕДАКЦИИ:
117997, ГСП-7, Москва, уë. Пpофсоþзная, 65, к. 383
Теë./факс: (495) 330-42-66
www.datsys.ru
E-mail: datchik@ipu.rssi.ru
Оpиãинаë-ìакет и эëектpонная веpсия
поäãотовëены ООО “Аäвансеä Соëþøнз”.
Отпе÷атано в типоãрафии “ЭЛИТ-ЮТЕРНА”
Заказ 37/10
Поäписано в пе÷атü 14.10.2012.
Жуpнаë заpеãистpиpован в Коìитете PФ по пе÷ати.
Свиäетеëüство о pеãистpаöии
ПИ № ФС 77-24419 от 18 ìая 2006 ã.
Оренбург
М.Г. Ку÷еpенко —
(353-2) 77-34-19
Орел
В.И. Гавpищук —
(486-2) 41-00-35
Владимир
В.Н. Устþжанинов —
(492-2) 33-59-67
Тула
В.Я. Pаспопов —
(487-2) 35-19-59
Воронеж
В.К. Битþков —
(473-2) 55-36-94
Курск
В.С. Титов —
(471-2) 58-71-12
Липецк
А.К. Поãоäаев —
(4742) 32-80-00
Л.А. Кузнеöов —
(4742) 32-80-44
Тамбов
С.В. Мищенко —
(475-2) 72-10-19
Астрахань
И.Ю. Петрова —
(851-2) 25-73-11
А.И. Наäеев
(851.2) 61-45-49
Минск
И.С. Манак —
(417) 278-13-13
Львов
И.И. Маpüяìова —
(10-380-322)
72-16-32
¹ 10 (161)
ОКТЯБРЬ 2012
СОДЕРЖАНИЕ
Представляет Научно-исследовательский институт
физических измерений
ТЕХНОЛОГИЯ КОНСТРУИРОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА
ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ АППАРАТУРЫ
Баринов И. Н., Федулов А. В., Волков В. С. Высокотеìпературные äат÷ики абсоëþтноãо
äавëения на структуре “поëикреìний—äиэëектрик” с уëу÷øенныìи ìетроëоãи÷ескиìи
характеристикаìи . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Баринов И. Н., Волков В. С., Баринов Н. И. Дат÷ики äавëения на основе резонансноãо
преобразоватеëя с повыøенной вреìенной стабиëüностüþ ìетроëоãи÷еских и экспëуатаöионных
характеристик . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Дмитриенко А. Г., Трофимов А. А. Анаëиз инструìентаëüных поãреøностей базовых
конструкöий растровых ÷увствитеëüных эëеìентов äат÷иков переìещений. . . . . . . . . . . 9
Чебурахин И. Н., Ворожбитов А. И. Оöенка аäãезии тонких пëенок в структуре
“ìетаëë — äиэëектрик”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Попченков Д. В., Кучумов Е. В. К построениþ ìоäеëи техноëоãи÷ескоãо проöесса
напыëения тонких пëенок вакууìныì испарениеì . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Чебурахин И. Н., Хошев А. В., Торгашин С. И. Анаëиз ка÷ества тонкопëено÷ных
ãетероструктур МДМ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Чебурахин И. Н., Колосов П. А. Способ повыøения стабиëüности тонкопëено÷ных
тензорезисторов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Ефремов Е. В. Опыт проектирования, коìпëектования и внеäрения коìпëекса автоìатизированной
ëазерной пайки. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ
АППАРАТУРЫ
Дмитриенко А. Г., Измайлов В. В., Блинов А. В. Соверøенствование систеìы ìенеäжìента
ка÷ества в ОАО “НИИФИ” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Катков А. Н., Новиков В. Н. Перспективы созäания систеìы автоìатизированноãо
проектирования äат÷икопреобразуþщей аппаратуры. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Дмитриенко А. Г., Папко А. А., Кирянина И. В., Торгашин С. И. Об иссëеäовании
повторяеìости и воспроизвоäиìости ìетроëоãи÷еских характеристик преöизионных
аксеëероìетров . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Богомолов А. И., Семкин А. Н., Семина И. А., Плющ А. А. К вопросу реøения
некоторых изìеритеëüных заäа÷ в интересах вооружения, военной и спеöиаëüной
техники, а также объектов военной инфраструктуры. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ПРЕДПРИЯТИЯ.
КАДРОВАЯ ПОЛИТИКА
Дмитриенко А. Г., Блинов А. В., Баринов И. Н., Мусаев Р. Ш. Центр проектирования
унифиöированных ìикроэëектронных äат÷иков äëя работы в особо жестких усëовиях
экспëуатаöии . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Кругляков А. А., Корсун Е. В. Каäровая поëитика в ОАО “НИИФИ” . . . . . . . . . . . . . . 45
Дмитриенко А. Г., Варюшин Ю. М., Кастеров В. М., Трофимов А. А. Поäãотовка
нау÷ных каäров на базе у÷ебно-нау÷ноãо öентра ОАО “НИИФИ” . . . . . . . . . . . . . . . . 47
ИЗМЕPЕНИЯ, КОНТPОЛЬ, АВТОМАТИЗАЦИЯ (жуpнал в жуpнале)
Гребенюк Е. А., Ицкович Э. Л. Опреäеëение расхоäов произвоäственных проäуктовых
и энерãети÷еских потоков . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Библиография+ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Приглашение к преäставëениþ äокëаäов на конференöии и сиìпозиуìы . . . . . . . . . . . 58
* * *
Contents and abstracts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
© Сенсидат-Плюс, 2012
Стр.1