Очевидно, величина деформаций значительна, так как аналогичный характер разрушения провоцируется при длительном воздействии термоциклов (от –196 до +250 °С) с подачей двух- трехкратных перегрузочных давлений, что значительно превышает рабочие нагрузки (εраб от 3,6•10–3 до 8•10–2 1/°С). <...> Игорь Николаевич Чебурахин — начальник цеха микроэлектроники; Анатолий Иванович Ворожбитов — зам. начальника цеха микроэлектроники. <...> 56-50-34 УДК 51-74 К содержанию К ПОСТРОЕНИЮ МОДЕЛИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ВАКУУМНЫМ ИСПАРЕНИЕМ Д. В. <...> Попченков, Е. В. Кучумов Предпринята попытка очертить круг явлений и законов, позволяющих в дальнейшем построить математическую модель процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением. <...> ВВЕДЕНИЕ Датчики с чувствительным элементом на основе тензорезистивного эффекта имеют давнюю историю в измерительной технике и широко применяются в номенклатуре датчикопреобразующей аппаратуры ОАО “НИИФИ”. <...> Процесс совершенствования конструктивно-технологических и, соответственно, метрологических характеристик тензочувствительных элементов происходил от использования тензорезистивной проволоки к тензорезистивной фольге (толстой пленке) и далее к тензорезистивному напылению (тонкой пленке). <...> Несмотря на высокую эффективность и компактность чувствительных элементов на основе тензорезистивной тонкой пленки, процесс вакуумного напыления до сих пор остается трудноуправляемым, что выражается в существенном технологическом отходе при их производстве. <...> В связи с этим имеется необходимость в построении, с одной стороны, простой для интерпретации инженером-технологом, и, с другой стороны, достаточно адекватной математической модели технологического процесса напыления тензорезистивных тонких пленок. <...> ПРЕДВАРИТЕЛЬНЫЕ ЗАМЕЧАНИЯ Условно процесс напыления в вакууме можно разбить на три этапа: испарение, перенос вещества и его 14 Sensors & Systems · ¹ 10.2012 осаждение (конденсация <...>