Погрешности зубцового сопряжения при коаксиальном расположении обмоток обусловлены отклонением от номинальных значений размеров угла наклона зубьев, ширины зуба и впадины, а также шага нарезки зубьев ротора и статора, длины зубьев статора и количества витков в секциях обмоток считывания. <...> Погрешности от ширины зуба (впадины) и шага сопряжения за счет большого количества зубьев усредняются и практически не оказывают влияние на характер выходного сигнала. <...> Отклонение количества витков в секциях возбуждения и считывания и отклонение длины зубца приводят к изменению амплитуды выходных сигналов, которое не зависит от измеряемого параметра (углового или линейного перемещения) и может быть скомпенсировано с помощью выравнивающих элементов (резисторов). --x h 2 + + – --x h 2 --x h 2 ∫ 2πRcdx δ0 + x --∆δ H - --------------------------= Таким образом, анализ влияния погрешностей, вызванных отклонениями размеров зубцового сопряжения, показывает, что они оказывают или незначительное влияние на изменение выходного сигнала, или могут быть исключены при настройке датчика, что позволяет при изготовлении задавать допуски по девятому квалитету, т. е. не требуется применения специального и высокоточного оборудования. <...> 8 (8412) 56-04-54 E-mail: umc37@mail.ru УДК 621.3.049.772.1 ОЦЕНКА АДГЕЗИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК В СТРУКТУРЕ “МЕТАЛЛ — ДИЭЛЕКТРИК" И. Н. Чебурахин, А. И. Ворожбитов Предложен метод оценки качества сцепления диэлектрических пленок через подслой хрома с подложкой и между собой. <...> При создании тонкопленочных многослойных структур особое внимание уделяется обеспечению надежного сцепления пленок как с подложкой, так и между собой. <...> При разработке чувствительных элементов (ЧЭ) для металлопленочных датчиков давления, где диэлектрические пленки формируются на металлической подложке со значительной разницей значений температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР) и подвергаются динамическим деформациям, вопрос адгезии пленок становится <...>