закрепленная одним концом с биметаллической пластиной, выходит из контакта между соединяемыми деталями, способствуя закрытию зазора между ними. <...> В дальнейшем, в процессе продолжающейся диффузионной сварки, повышения температуры до t2 и воздействия определенного электрического потенциала происходит механическое поджатие соединяемых деталей с образованием между ними связи типа ковалентной с высокой энергией соединения. <...> Применение разработанной ММС позволяет повысить чувствительность практически в пять раз в сравнении с обычным мостом Уитстона, снизить начальный разбаланс измерительной схемы на порядок и температурный коэффициент чувствительности на два порядка, что дает возможность применять данную ММС для ВПТДАД с улучшенными метрологическими характеристиками. <...> Предложенные конструктивно-технологические решения по исключению вакуумплотного барьера позволяют достичь в полости опорного давления между стеклянной подложкой и кремниевой пластиной необходимой степени вакуума, равной ее значению в камере нагрева, когда отсутствуют остаточные молекулы веществ (прежде всего гелий, водород, углекислый газ, водяной пар и др.) в полости, что особенно важно для ЧЭ высокотемпературных датчиков. <...> Достигнутые результаты позволяют расширить температурный диапазон ВПТДАД и уменьшить дрейф выходного сигнала. <...> Полупроводниковый тензопреобразователь давления, содержащий многократную мостовую схему // Датчики на основе технологии микроэлектроники. <...> Способ изготовления полупроводникового преобразователя давления / Баринов И. Н., Федулов А. В. <...> Установка для диффузионной сварки / Баринов И. Н., Федулов А. В. <...> Илья Николаевич Баринов — канд. техн. наук, заместитель начальника комплекса-начальник отдела; +7 (908) 528-06-36 E-mail: mzungu@inbox.ru Александр Владиславович Федулов — нач. лаборатории; Вадим Сергеевич Волков — канд. техн. наук, ст. научн. сотрудник. <...> УДК 621.3.032 ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ РЕЗОНАНСНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ <...>