3–13 ТЕХНОЛОГИИ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ УДК :536.36 ЛЕГИРОВАНИЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК © 2017 г. А. <...> Анализ экспериментальных результатов и теоретических данных показал, что определяющую роль в легировании и адсорбции играет свободная энергия газовой смеси в реакторе и температура реагирующих веществ. <...> Вычислены термодинамические параметры легирования углеродных нанотрубок примесями водорода, кислорода, азота и бора. <...> ВВЕДЕНИЕ Разветвленная удельная поверхность УНТ, достигающая сотен квадратных метров на грамм, определяет их высокую сорбционную способность [1, 2]. <...> Слово doping, распространенное в англоязычной литературе переводится как легирование, оно имеет много других значений, в том числе и глагол намазывать. <...> Легирование (в переводе с латинского ligare – “связывать”) это введение в состав вещества определенных примесей. <...> Термин “намазывание” означает нанесение чего-либо на поверхностность, поэтому близок к понятию адсорбция. <...> Для УНТ достаточно трудно разделить процессы легирования и адсорбции. <...> Нанотрубка, как и графеновая плоскость, представляет собой сплошную поверхность. <...> В то же время взаимодействие атомов примесей с УНТ не сводится только к адсорбции. <...> Введем 3 понятие “легирование УНТ” как процесс, обеспечивающий форму активного воздействия на вещество с целью изменения его состава, электронной структуры и физических свойств. <...> Такое определение ближе к общепринятому понятию легирования, однако, оно близко и к понятию хемосорбции, при которой атом примеси устанавливает химические связи с атомами основного вещества, расположенными на поверхности. <...> Например, адсорбция кислорода способствует росту концентрации дырок в нанотрубках, однако кислород не заменяет углерод в решетке и даже не устанавливает с ней химических связей [2]. <...> Заместительное легирование оказывает значительное влияние на электронную структуру, а, следовательно и на проводимость нанотрубок, однако этим локальные способы <...>