305–310 ПОВЕРХНОСТЬ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ УДК 539.211+621.315.592.3 ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛЬНО ШЕРОХОВАТЫХ ФРАКТАЛЬНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОГО РАССЕЯНИЯ В УСЛОВИЯХ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ © 2017 г. Б. С. Рощин, Ф. Н. Чуховский, М. Д. Павлюк, А. М. Ополченцев, В. Е. Асадчиков Институт кристаллографии им. <...> А.В. Шубникова ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН, Москва E-mail: ross@crys.ras.ru Поступила в редакцию 18.04.2016 г. Применимость подходов к описанию рассеяния жесткого рентгеновского излучения на шероховатых поверхностях, как правило, ограничена максимальным значением высот шероховатостей поверхности, не превышающим 1 нм. <...> Для осуществления контроля параметров шероховатости на всех этапах обработки поверхности развит подход, основанный на разложении волнового поля в ряд по собственным плоским функциям, описывающим малоугловое рассеяние падающего рентгеновского излучения в терминах плоских q-волн, распространяющихся через границу раздела двух сред cо случайной функцией высот рельефа. <...> Получена система двух связанных друг с другом интегральных уравнений для определения амплитуд отраженных и прошедших плоских q-волн. <...> В нулевом порядке найденные решения соответствуют известным выражениям Френеля для идеально плоской поверхности раздела. <...> С использованием решений получена статистическая фрактальная модель изотропно шероховатой поверхности раздела в терминах среднеквадратичной шероховатости σ, двухточечной длины корреляции ℓ и индекса фрактальности h. <...> Эта модель применена для интерпретации данных рентгеновского рассеяния на полированных поверхностях образцов монокристаллического теллурида кадмия. <...> DOI: 10.7868/S0023476117010210 ВВЕДЕНИЕ Измерение угловых и спектральных зависимостей коэффициента отражения жесткого и мягкого рентгеновского излучения является эффективным инструментом неразрушающей диагностики структуры и качества поверхности и границ раздела в многослойных системах [1–3]. <...> Подготовка поверхностей монокристаллических <...>