Известия высших учебных
заведений
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 21 № 3
Учредители:
Министерство
образования и науки
Российской Федерации
Национальный
исследовательский
университет «МИЭТ»
Главный редактор
Чаплыгин Ю.А., чл.-корр. РАН,
д.т.н., проф.
Зам. главного редактора
Гаврилов С.А., д.т.н., проф.
Редакционная коллегия:
Бархоткин В.А., д.т.н., проф.
Бахтин А.А., канд. т. н., доц.
Быков Д.В., д.т.н., проф.
Горбацевич А.А., чл.-корр. РАН,
д.ф.-м.н., проф.
Грибов Б.Г., чл.-корр. РАН,
д.х.н., проф.
Казённов Г.Г., д.т.н., проф.
Коноплёв Б.Г., д.т.н., проф.
Коркишко Ю.Н., д.ф.-м.н., проф.
Королёв М.А., д.т.н., проф.
Красников Г.Я., акад. РАН,
д.т.н., проф.
Кубарев Ю.В., д.ф.-м.н., проф.
Лабунов В.А., акад. НАН
Беларуси, д.т.н., проф.
Максимов И.А., PhD, проф.
Лундского университета
(Швеция)
Меликян В.Ш., чл.-корр. НАН Армении,
д.т.н., проф.
Неволин В.К., д.ф.-м.н., проф.
Неволин В.Н., д.ф.-м.н., проф.
Петросянц К.О., д.т.н., проф.
Руденко А.А., канд.т.н., доц.
Сазонов А.Ю., PhD, проф.
Университета Ватерлоо
(Канада)
Сауров А.Н., чл.-корр. РАН, д.т.н., проф.
Селищев С.В., д.ф.-м.н., проф.
Сигов А.С., акад. РАН,
д.ф.-м.н., проф.
Таиров Ю.М., д.т.н., проф.
Телец В.А., д.т.н., проф.
Тимошенков С.П., д.т.н., проф.
Тихонов А.Н., д.т.н., проф.
Усанов Д.А., д.ф.-м.н., проф.
© “Известия вузов.
Электроника”, 2016
© МИЭТ, 2016
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электронной техники
Умбетова K.Б., Искаков Р.М., Коробова Н.Е.,
Кравцова В.Д. Особенности синтеза электропроводных
материалов на основе металлизированных полиимидов
как элементов солнечных батарей и микросистемной
техники................................................................................... 201
Технология микро- и наноэлектроники
Соколов Е.М., Федотов С.Д., Стаценко В.Н.,
Тимошенков С.П., Емельянов А.В. Исследование
структурных свойств кремния на сапфире в процессе
гидридно-хлоридной газофазной гетероэпитаксии ........... 208
Рябышенков А.С. Системный анализ функционирования
чистых помещений для микроэлектроники ................. 218
Микроэлектронные приборы и системы
Русанов А.В., Осыкин А.А., Балашов Ю.С. Исследование
интегрального МОП-транзистора для микромощных
интегральных схем ................................................................ 224
Нанотехнология
Морозов Р.А., Никитина А.В., Ромашкин А.В.,
Неволин В.К., Суетина И.А. Атомно-силовая микроскопия
клеток фибробластов, культивированных на коллаген-хитозановом
каркасе .................................................. 230
2016 май–июнь
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Стр.1
Заведующая редакцией
С.Г. Зверева
Редактор
А.В. Тихонова
Научный редактор
С.Г. Зверева
Корректор
И.В. Проскурякова
Верстка
А.Ю. Рыжков
С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498,
г. Москва, г. Зеленоград,
пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://www.miet.ru
Подписано в печать 3.06.2016.
Формат бумаги 6084 1/8.
Цифровая печать.
Объем 11,63 усл.печ.л.,
10,4 уч.-изд.л.
Заказ № 46.
Отпечатано
в типографии ИПК МИЭТ
124498, г. Москва, г. Зеленоград,
пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Свидетельство о регистрации
№ 014134
выдано Комитетом РФ по печати
12.10.95.
Включен в Перечень рецензируемых
научных изданий, в которых
должны быть опубликованы основные
научные результаты диссертаций
на соискание ученой степени кандидата
наук, на соискание ученой степени
доктора наук.
Включен в Российский индекс
научного цитирования и в Рейтинг
Science Index.
Включен в Russian Science Citation
Index на базе Web of Science.
Информационные технологии
Тихомиров А.В., Омельянчук Е.В., Семенова А.Ю.,
Михайлов В.Ю. Повышение пропускной способности
радиолинии космос – Земля с использованием частотного
разнесения каналов ......................................................... 235
.............................................................................................
Шишкевич А.А. Оценка числа абонентов информационно-управляющей
вычислительной системы с использованием
ЛВС EtherCAT из условия обеспечения требуемой
наработки на отказ системы ................................... 240
Зароченцев С.Г., Ковалев В.И., Пастухов А.А.,
Прокофьев А.А. Использование нейронных сетей для
построения прогностических моделей процессов в энергетических
установках и их агрегатах ................................ 247
Интегральные радиоэлектронные устройства
Лялин К.С., Максимовская А.И., Орешкин В.И.,
Меркулова Ж.В., Чистюхин В.В. Влияние способа получения
квадратурных компонент сигнала на характеристики
антенной решетки с цифровым формированием
луча ....................................................................................... 254
Тимошенков В.П., Ефимов А.Г. Применение кремнийгерманиевой
технологии для создания активных
СВЧ-блоков АФАР............................................................... 261
Методы и техника измерений
Белов А.Г., Денисов И.А., Каневский В.Е.,
Пашкова Н.В., Лысенко А.П. Определение концентрации
свободных носителей заряда в твердых растворах
CdxHg1–xTe по спектрам отражения в дальней инфракрасной
области ........................................................................... 270
Базаев Н.А., Пржиялговская А.В., Руденко П.А. Особенности
использования микросхемы AD5933 в качестве
измерителя импеданса при проектировании малогабаритных
систем................................................................... 279
Краткие сообщения
Александрова А.Б., Харитонов И.А. Исследование
влияния электронного облучения на импульсную электрическую
прочность диодов .............................................. 286
Сергеев В.А., Ходаков А.М., Молгачев А.А. Моделирование
теплового поражения СВЧ-диода мощным импульсом
электромагнитного излучения .............................. 289
Памяти Орликовского Александра Александровича ....... 293
Юбилеи
Неволину Владимиру Кирилловичу – 75 лет ................... 295
198
Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 3 2016
Стр.2
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Founders:
The Ministry
of Education and Science
of the Russian Federation
The National
Research University
of Electronic Technology
Editor-in-Chief
Chaplygin Yu.A., Dr. Sci. (Tech.),
Prof., Cor. Mem. RAS
Deputy Editor-in-Chief
Gavrilov S.A., Dr. Sci. (Tech.),
Prof.
Editorial Board:
Barkhotkin V.A., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Bahtin A.A., Cand. Sci. (Tech.)
Bykov D.V., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Gorbatsevich A.A., Dr. Sci. (Phys.-Math.),
Prof., Cor. Mem. RAS
Gribov B. G., Dr. Sci. (Chem.), Prof.
Kazennov G.G., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Konoplev B.G., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Korkishko Yu.N., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.
Korolev M.A., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Krasnikov G.Ya., Dr. Sci. (Tech.), Prof.,
Acad. RAS
Kubarev Yu.V., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.
Labunov V.A. (Belorussia),
Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Maksimov I.A. (Sweden), PhD, Prof.
of Lund University
Melikyan V.Sh. (Armenia), Dr. Sci. (Tech.),
Prof., Cor. Mem. NAS
Nevolin V.K., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.
Nevolin V.N., Dr. Sci. (Phys.-Math.),Prof.
Petrosyantz K.O., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Rudenko A.A., Cand. Sci. (Tech.)
Sazonov A.Yu. (Canada), PhD,
Prof. of University of Waterloo
Saurov A.N., Dr. Sci. (Tech.), Prof.,
Cor. Mem. RAS
Selishchev S.V., Dr. Sci. (Phys.-Math.),Prof.
Sigov A.S., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
Acad. RAS
Tairov Yu.M., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Telets V.A., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Timoshenkov S.P., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Tikhonov A.N., Dr. Sci. (Tech.), Prof.
Usanov D.A., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.
© “Proceedings of Universities.
Electronics”, 2016
© MIET, 2016
CONTENTS
Electronic engineering materials
Umbetova K.B., Iskakov R.M., Korobova N.E.,
Kravtsova V.D. Synthesis Peculiarities of Electrically Conductive
Materials on Metallized Polyimide as Elements of
Flexible Solar Cells ................................................................. 201
Micro- and nanoelectronic technology
Sokolov E.M., Fedotov S.D.,
Statsenko V.N.,
Timoshenkov S.P., Emelyanov A.V. Study on Silicon on
Sapphire Structural Properties in Process of Hybrid-Chloride
Gas-Phase Epitaxy .................................................................. 208
Ryabyshenkov A.S. System Analysis of Clean Rooms
Functioning for Microelectronics ............................................ 218
Microelectronic devices and systems
Rusanov A.V., Osykin A.A., Balashov Y.S. Investigation
of Integrated Transistor for Low-Voltage ICs ......................... 224
Nanotechnology
Morozov R.A., Nikitina A.V., Romashkin A.V., Nevolin V.K.,
Suetina I.A. Atomic Force Microscopy of Fibroblast Cells
Cultured on Collagen-Chitosan ............................................... 230
Information technologies
Tikhomirov A.V., Omelyanchuk E.V., Semenova A.Y.,
Mikhaylov V.Y. A Method of Increasing Satellite Radio
Downlink Capacity Using Diversity of Channels ................... 235
Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 3 2016
199
Volume 21 N 3
2016 May–June
The scientific-technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Стр.3
Head of editorial staff
Zvereva S.G.
Chief editors
Tikhonova A.V.,
Proskuryakova I.V.
Make-up
Ryzhkov S.Yu.
Ryzhkov A.Yu.
Address: 124498, Moscow, Zelenograd,
Bld. 1, Shokin Square, MIET, editorial
office of the Journal «Proceedings
of universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://www.miet.ru
The journal is printed at the printing
workshop of the MIET
124498, Moscow, Zelenograd,
Bld. 1, Shokin Square, MIET
The registration certificate No.014134
was given by RF Press Committee
on 12.10.95.
The journal is included into the List
of reviewed scientific publications,
in which the main scientific results
of thesis for candidate of science and
doctor degrees must be published.
The journal is included into the Russian
index of scientific citing and into the
Rating Science Index.
The journal is included into the Russian
Science Citation Index on the Web
of Science basis.
Aleksandrova A.B., Kharitonov I.A. Study of Electron Irradiation
Effect on Electrical Impulse .................................... 286
Sergeev V.A., Hodakov A.M., Molgachev A.A. Modeling
of Thermal Defeat of Microwave Frequency Diode by Electromagnetic
Radiation High-Power Impulse .......................... 289
Shishkevich A.A. Estimation of Maximal Number of Subscribers
of Information-Control Computer System Using
LAN EtherCat from Condition Providing Required Operating
Time between Failures of System .................................... 240
Zarochentsev S.G., Kovalev V.I., Pastukhov A.A.,
Prokofiev A.A. Simulation Modeling Using Neural Network
to Create Prediction Models of Processes in LiquidPropellant
Rockets and Their Aggregates .............................. 247
Integrated radioelectronic devices
Lyalin K.S., Maksimovskaya A.I., Oreshkin V.I.,
Merkulova J.V., Chistyukhin V.V. Influence of Method of
Obtaining I/Q-Signals on Characteristics of Smart Antenna
Pattern .................................................................................... 254
Timoshenkov V.P., Efimov A.G. Application of SiliconGermanium
Technology for Creation of Active MicrowaveUnits
....................................................................................... 261
Measurement methods and technology
Belov A.G., Denisov I.A., Kanevskii V.E., Pashkova N.V.,
Lysenko A.P. Determination of Charge Free Carrier Concentration
in CdxHg1–xTe Solid Solutions By Far Infrared
Reflection Spectra .................................................................. 270
Bazaev N.A., Prshyalgovskaya A.V., Rudenko P.A. Peculiarities
of Using AD5933 IC as Impedance Detector in
Portable Devices Design ........................................................ 279
Brief reports
200
Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 3 2016
Стр.4