ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ» ВНУТРЕННИЙ ФОТОЭФФЕКТ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ Учебно-методическое пособие для вузов Составители: Л.Н. Владимирова, Е.Н. Бормонтов, Е.Н. Берло Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета 2009 Утверждено научно-методическим советом физического факультета 26 марта 2009 г., протокол № 3 Рецензент доцент В.М. Кашкаров Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. <...> Для специальности 210104 (2001) – Микроэлектроника и твердотельная электроника Т Е О Р Е Т И Ч Е С К А Я Ч А С Т Ь ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ В ОДНОРОДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛАХ Фотоэлектрические эффекты (фотоэффекты) связаны с изменениями электрических свойств полупроводников под воздействием электромагнитного излучения. <...> В кристаллах может наблюдаться как внешний, так и внутренний фотоэффект. <...> Внешний фотоэффект определяется эмиссией электронов из вещества в вакуум под действием квантов света. <...> Эмиттированные электроны затем могут быть собраны анодом. <...> В случае внутренних фотоэффектов носитель заряда (электрон или дырка) под воздействием кванта света не выходит из полупроводника, а лишь переходит в более высокое энергетическое состояние (например, из валентной зоны в зону проводимости). <...> При этом первичным процессом является поглощение фотона (собственное, решеточное, примесное, экситонное, поглощение свободными носителями заряда). <...> Однако не все механизмы поглощения в одинаковой мере приводят к изменению электрических свойств кристаллов. <...> Действительно, удельная электрическая проводимость =+ e () np np зависит от концентрации и подвижности свободных носителей заряда. <...> Из указанных процессов поглощения только собственное <...>
Внутренний_фотоэффект_в_полупроводниках.pdf
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ
УЧРЕЖДЕНИЕ
ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
«ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ
УНИВЕРСИТЕТ»
ВНУТРЕННИЙ ФОТОЭФФЕКТ
В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Учебно-методическое пособие для вузов
Составители:
Л.Н. Владимирова,
Е.Н. Бормонтов,
Е.Н. Берло
Издательско-полиграфический центр
Воронежского государственного университета
2009
Стр.1
Т Е О Р Е Т И Ч Е С К А Я Ч А С Т Ь
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ В ОДНОРОДНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛАХ
Фотоэлектрические эффекты (фотоэффекты) связаны с изменениями
электрических свойств полупроводников под воздействием электромагнитного
излучения. В кристаллах может наблюдаться как внешний, так и внутренний
фотоэффект. Внешний фотоэффект определяется эмиссией электронов
из вещества в вакуум под действием квантов света. Эмиттированные
электроны затем могут быть собраны анодом. На этом явлении основан
принцип действия таких приборов, как вакуумные фотоэлементы, фотоэлектронные
умножители, электронно-оптические преобразователи и т. д.
В случае внутренних фотоэффектов носитель заряда (электрон или
дырка) под воздействием кванта света не выходит из полупроводника, а
лишь переходит в более высокое энергетическое состояние (например, из
валентной зоны в зону проводимости). При этом первичным процессом является
поглощение фотона (собственное, решеточное, примесное, экситонное,
поглощение свободными носителями заряда). Однако не все механизмы
поглощения в одинаковой мере приводят к изменению электрических
свойств кристаллов. Действительно, удельная электрическая проводимость
=+
e ()
np
np
зависит от концентрации и подвижности свободных носителей заряда. Из
указанных процессов поглощения только собственное и примесное поглощения
приводят непосредственно к изменению концентрации свободных
носителей заряда, так как они обусловлены переходами электронов (дырок)
под действием квантов света из основного состояния в свободное.
Именно эти процессы поглощения дают наибольший вклад в фотоэффект и
называются фотоэлектрически активными.
3
mm
s
Стр.3
Рассмотрим уравнение непрерывности (1) при условии j
В стационарном состоянии == и уравнения (1) и (1а) имеют
dt
dn dp
dt
простое и наглядное решение:
pСТ
nСТ
0
0,
D = -=p pGpp
D = -= ,
n nGnn
0
(5)
(5а)
где Gp и Gn – скорости генерации дырок и электронов соответственно.
Таким образом, в отсутствие тока через образец стационарная концентрация
избыточных носителей заряда равна числу носителей, освобождаемых
светом в единицу времени в единице объема, умноженному на среднее время
их существования в зоне до рекомбинации (время жизни). Выражения (5) и
(5а) носят название первого характеристического соотношения для фоторезистивного
эффекта. Поскольку величина фотопроводимости
D СТ = e
где b =
p
n
p ( pСТ
D + D =+ (6)
b nСТ )
e Gp p
p (
bGnn),
, то первое характеристическое соотношение фактически определяет
зависимость стационарной фотопроводимости от длины волны падающего
света (λ) (область спектра) и его интенсивности (J) через
Скорость генерации зависит от
G( , )J
и
и J непосредственно, а
( , )J .
– посредством
зависимости времени жизни от избыточной концентрации, которая
в свою очередь зависит от скорости генерации. Скорость генерации G определяется
интенсивностью света J и коэффициентом поглощения
. Пусть на
единицу поверхности слоя вещества толщиной dz, имеющего коэффициент
поглощения
гии, поглощаемой в единицу времени в единице объема этого вещества, будет
.
-= J
dz
dJ
6
(7)
, падает свет интенсивности J. Тогда количество световой энерr
p
= » 0n
r
j
.
t
t
tt
m
l
a
m
s
mm
a
a
l
tl
t
Стр.6
Следовательно, количество избыточных электронов и дырок, которое
образуется при поглощении квантов света с энергией h в единице объема
полупроводника в единицу времени для области собственного поглощения,
называемое скоростью генерации, будет равно:
G =
J
h
Коэффициент пропорциональности
.
(8)
обычно называют квантовым
выходом фотоэффекта. Он определяет число пар носителей заряда (или
число носителей заряда при примесной фотопроводимости), образуемых
одним поглощенным фотоном.
С учетом соотношения (8) выражение (6) для стационарной фотопроводимости
запишется следующим образом:
D =+TC () .
h
e
J
n n pp
ляет удельную фоточувствительность полупроводника
.
SФ = D
J
(9)
Отношение фотопроводимости D к интенсивности света J опреде(10)
Если
один из членов в скобках соотношения (9) значительно больше
другого, то фотопроводимость определяется носителями заряда одного
знака, и ее называют монополярной. В этом случае
D=e
CT
иметь вид:
jФ () .
h
= D =+CTEe
7
JE
n n pp
(12)
J
h
.
(11)
Выражение для стационарного значения плотности фототока будет
w
ba w b
mt
b
s
am
t
s
s
batm w
s
b
s
am
t
w
mt
w
Стр.7
V – дрейфовую скорость, то
Если через l обозначить размер образца в направлении поля и через
pE V=
p ,
n
электронов и дырок через образец будут t =
E =
l
p p
t
=
l
nE V= n , а времена дрейфа
l
l
n E
и
t p
=
Vp
=
l
p E .
Тогда, выразив значение напряженности поля через времена дрейфа
n n
t
и подставив это значение E в (12), получим:
() .
je
водника S и учтем, что
j S J= Ф
Ф
Ф=+
n
p
np
Jl
tt h
(13)
Умножим выражение (13) на площадь поперечного сечения полупроS
l V=×
есть объем полупроводника, а
– фототок. Тогда выражение для фототока можно записать
() .
Je
Величина
A=+
n
()
p
tt
np
носит название коэффициента усиления. Выражение для фототока (14)
называется вторым характеристическим соотношением для фоторезистивного
эффекта. Если, кроме
, все величины, входящие в (14), известны,
то, измеряя ФJ , можно определить квантовый выход.
Пусть теперь полупроводник освещается импульсом света, как это
показано на рис. 2а. В этом случае при включении света стационарное значение
фотопроводимости достигается не мгновенно, а лишь через некоторое
время после начала освещения. Аналогично при выключении света не8
(15)
Ф=+
n
p
np
JV
tt
h
(14)
m
m
m
m
t
t
ba
m
m
t
ba
t
t
t
w
w
b
Стр.8