НАНОИНДУСТРИЯ 14/5 (108)/2021
Научно-технический журнал
Выпускается при содействии Министерства
Ж промышленности и торговли Российской Федерации.
урнал включен в Российский индекс научного
цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
И.БЕЛЯЕВ, Ю.БОРИСОВ, С.БУЛЯРСКИЙ, В.БЫКОВ,
П.ВЕРНИК, В.КАНЕВСКИЙ, А.ЛАТЫШЕВ, В.ЛУКИЧЕВ,
В.ЛУЧИНИН, П.МАЛЬЦЕВ, Ю.ПАРХОМЕНКО, А.РЕЗНЕВ,
А.САУРОВ (гл. ред.), А.СИГОВ, В.ТЕЛЕЦ, П.ТОДУА,
Ю.ЧАПЛЫГИН, И.ЯМИНСКИЙ
Главный редактор: А.САУРОВ
Зам. главного редактора: А. АЛЁШИН
Корректор: А.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.БОДРОВ
Отдел рекламы:
А.ЦАПЛИН ats71@mail.ru
О.ЛАВРЕНТЬЕВА nano@technosphera.ru
Сбыт: А.МЕТЛОВ sales@electronics.ru
Подписка: Е.ЗАЙКОВА magazine@technosphera.ru
Учредитель: АО "РИЦ "ТЕХНОСФЕРА"
Генеральный директор: О.КАЗАНЦЕВА
НАНОИНДУСТРИЯ ©
Перерегистрирован в Федеральной службе
по надзору в сфере связи и массовых коммуникаций
7.09.2017 ПИ № ФС77-70992
Журнал издается 8 раз в год с 2012 года
Тираж 4 000 экз. Цена договорная
Подписано в печать 22.09.2021, заказ № 298791
© При перепечатке ссылка
на журнал "НАНОИНДУСТРИЯ" обязательна.
Мнение редакции не всегда совпадает с точкой зрения
авторов статей.
Рукописи рецензируются, но не возвращаются.
За содержание рекламных материалов редакция
ответственности не несет.
Отпечатано в соответствии с предоставленными
материалами в ООО "Вива-Стар"
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская д. 20
АО "РИЦ "ТЕХНОСФЕРА"
Адрес редакции:
ул. Краснопролетарская, д.16, стр.2
Для писем: 125319, Москва, а/я 91
Тел.: (495) 234-0110 доб. 183
Факс: (495) 956-3346
E-mail: journal@electronics.ru
Internet http://www.nanoindustry.su
http://elibrary.ru
www.e.lanbook.ru
IN THE ISSUE СОДЕРЖАНИЕ
Competent opinion
experience of the company DEAXO in Russia
René Chalmakoff
(in Russian)
Turnkey cleanroom complexes and
engineering infrastructure. Professional
experience of the company DEAXO in Russia
René Chalmakoff
(in English)
Nanotechnologies
260
Analysis of the mechanical properties
of the materials for dental structures
after artificial ageing
S.V.Apresyan, M.A.Gadzhiev, K.S.Kravchuk,
E.V.Gladkikh, G.Kh.Sultanova, A.A.Rusakov,
A.S.Useinov
The study of the dental structures mechanical properties
behaviour after simulated ageing processing at long-term
use is the main feature of the presented paper. The paper
contains the test results for 3D printed materials and for
the other ones manufactured by milling of workpieces.
The hardness and elastic modulus were measured by the
nanoindentation method, the linear wear and friction
coefficients were measured by the abrasion resistance
method, and the elastic modulus, strength and deformation
were determined by three-point bending method.
Keywords: dental occlusal splints, hardness, strength,
modulus of elasticity, deformation, 3D printing of
biomaterials, additive technologies
The world’s first scanning probe microscope
as a satellite a new stage of the scientific
satellite laboratories
B.A.Loginov
In this paper we proposed a new stage of the
experimental methods for various sciences as
exemplified by the world’s first scanning probe
microscope (SPM) designed as a satellite, i.e., taking
out experiments out of the Earth laboratories directly
in space to make them satellites complete with
instrumentation and a set of objects to be studied.
Keywords: probe microscope, satellite-laboratory,
instrumental indenting
Automated search for nanoparticles
in the probe microscope images
using a neural network
O.V.Sinitsyna, M.M.Vorob’ev, I.V.Yaminskiy
There are a number of important advantages that can
be obtained by using automated search for objects
Том 14 № 5 2021
276
270
248
Turnkey cleanroom complexes and
engineering infrastructure. Professional
Компетентное мнение
Чистые помещения и инженерная инфраструктура
"под ключ". Профессиональный опыт
работы компании ДЕАКСО в России
Рене Калмакофф
(in Russian)
254
Чистые помещения и инженерная инфраструктура
"под ключ". Профессиональный опыт
работы компании ДЕАКСО в России
Рене Калмакофф
(in English)
Нанотехнологии
Анализ механических свойств материалов
для стоматологических конструкций после
проведения искусственного старения
С.В.Апресян, М.А.Гаджиев, К.С.Кравчук, Е.В.Гладких,
Г.Х.Султанова, А.А.Русаков, А.С.Усеинов
Ключевой особенностью данной работы является исследование
поведения механических свойств материалов для
стоматологических конструкций в результате воздействия
процесса, имитирующего старение, происходящее с
материалами в ходе длительной эксплуатации. В статье
приводятся результаты для материалов, напечатанных на
3D-принтере, а также полученных фрезерованием из заготовок.
Измерения твердости и модуля упругости проводились
методом наноиндентирования, коэффициентов линейного
износа и трения – методом истирания, а модуля упругости,
прочности и деформации – методом трехточечного изгиба.
Ключевые слова: стоматологические окклюзионные шины,
твердость, прочность, модуль упругости, деформация,
3D-печать биоматериалов, аддитивные технологии
Первый в мире сканирующий зондовый микроскоп
в виде спутника как старт этапа научных
спутников-лабораторий
Б.А.Логинов
На примере разработки первого в мире зондового
микроскопа – спутника Земли, предлагается новый
этап экспериментальных методов для различных
наук – создание спутников-лабораторий, то есть вынос
экспериментов из земных лабораторных установок непосредственно
в космос в виде спутников Земли вместе с
приборами и изучаемыми в них наборами объектов.
Ключевые слова: зондовый микроскоп, спутник-лаборатория,
инструментальное наноидентирование
Автоматизированный поиск наночастиц
на изображениях зондовой микроскопии
с использованием нейронной сети
О.В.Синицына, М.М.Воробьев, И.В.Яминский
Использование автоматизированного поиска объектов
в зондовой микроскопии дает ряд серьезных
Стр.4
IN THE ISSUE СОДЕРЖАНИЕ
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
г. Москва, ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
Санкт-Петербург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Минск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
• по каталогу "Газеты и журналы" агентства
"Роспечать", индексы
80939 – полугодовой индекс
48508 – годовой индекс
• АО "МК-Периодика"
• ГК "Урал-Пресс"
• ООО "Информнаука" – зарубежная подписка
• в редакции журнала
по тел.: (495) 234-0110
e-mail: magazine@technosphera.ru
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
detected by the probe microscopy, such as a high rate
of data processing, minimization of experimentalist’s
influence on the measurement process and a possibility
to enlarge the data volume to be processed. It has been
shown in this work that for the search for nanoparticles,
which dimensions are comparable to a noise level, the
more accurate result is achieved by a neural network
algorithm based on protein nanoparticles data
processing which was obtained using the atomic force
microscopy while the larger nanoparticles are more
precisely distinguishable by the threshold algorithm.
Keywords: scanning probe microscopy, atomic-force
microscopy, neural network, nanoparticles
Equipment
for nanoindustry
steam production and distribution systems
D.P.Melnik, A.K.Rybakov, A.V.Gospodinov
The paper describes technical details of a relatively
complicated qualification procedure of clean steam
production and distribution systems. The authors
propose a test kit – KIT ASEPTICA CLEAN STEAM
intended for qualifying the clean steam system.
Keywords: clean steam, clean rooms, clean steam
distribution systems
New solution for bionanoscopy based
on the optical microlens technology
I.V.Yaminskiy, A.I.Akhmetova, S.A.Senotrusova,
Z.Wang, Yu.Bing, B.S.Luk’yanchuk, E.V.Barmina,
A.V.Simakin, G.A.Shafeev
The microlens microscopy is a relatively new
and promising solution to overcome the optical
microscopy diffraction limit. It is possible to
obtain the optical images with a resolution of tens
nanometers using the spheres made of barium
titanate. Moreover, combining the probe and
microlens microscopy makes it possible to register a
wide range of physical and biochemical parameters
of the studied samples spectra. The great advantage
of this method is a possibility to study a biomaterial
either using labels and markers or not, which
is essential. This is unattainable by many other
conventional research methods. The use of a coppervapour
laser in an optical scheme, makes it possible
to study biological objects at low light intensity.
Keywords: nanoworld, bionanoscopy, optical microscope,
probe microscope, biological objects, nanoscale
Evolution
of radiation effects
in sub-microelectronic devices
and test facilities
A.Yu.Nikiforov, M.S.Gorbunov, A.A.Smolin,
D.V.Boychenko, G.G.Davydov
We provide a brief evolution trends overview
of the modern sub-microelectronic devices
Том 14 № 5 2021
298
284
преимуществ: высокую скорость обработки данных,
минимизацию влияния экспериментатора на
процесс измерений, возможность увеличить объем
данных, используемых для анализа. В данной
работе на примере данных атомно-силовой микроскопии
белковых наночастиц мы показали, что для
поиска наночастиц, размеры которых сравнимы с
уровнем шума, более точный результат дает алгоритм
с использованием нейронной сети, тогда как
более крупные наночастицы более точно выделяет
пороговый алгоритм.
Ключевые слова: сканирующая зондовая микроскопия,
атомно-силовая микроскопия, нейронная сеть, наночастицы
Qualification and certification of clean
Оборудование
для наноиндустрии
Квалификация и аттестация систем получения
и распределения чистого пара
Д.П.Мельник, А.К.Рыбаков, А.В.Господинов
В статье рассматриваются технические детали проведения
довольно сложной процедуры квалификации систем
получения и распределения чистого пара. Представлен
комплект приспособлений для квалификации систем
чистого пара KIT ASEPTICA CLEAN STEAM.
Ключевые слова: чистый пар, чистые помещения, системы
распределения чистого пара
292
Новое решение для бионаноскопии
на основе технологии оптических микролинз
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, С.А.Сенотрусова,
З.Ван, Ю.Бинг, Б.С.Лукьянчук, Е.В.Бармина,
А.В.Симакин, Г.А.Шафеев
Микролинзовая микроскопия – это относительно новое и
многообещающее решение для преодоления дифракционного
предела в оптической микроскопии. Благодаря использованию
сфер из титаната бария возможно получение оптических
изображений с разрешением в десятки нанометров.
Совмещенная зондовая и микролинзовая микроскопия
позволяет осуществлять регистрацию широкого спектра
физических и биохимических параметров изучаемых образцов.
Существенным достоинством метода является возможность
наблюдения биоматерии как с использованием меток
и маркеров, а также, что очень существенно, и без них. Это
недостижимо для многих других традиционных методов
исследования. Использование лазера на парах меди в
оптической установке дает возможность исследовать биологические
объекты с низкой интенсивностью света.
Ключевые слова: наномир, бионаноскопия, оптический микроскоп,
зондовый микроскоп, биологические объекты, наномасштаб
Эволюция радиационного поведения субмикроэлектронных
устройств при снижении
проектных норм и особенности развития
инфраструктуры испытаний и исследований
А.Ю.Никифоров, М.С.Горбунов, А.А.Смолин,
Д.В.Бойченко, Г.Г.Давыдов
В аналитическом обзоре рассмотрены особенности
радиационного поведения современных субмикронных
Стр.6
IN THE ISSUE СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК РЕКЛАМОДАТЕЛЕЙ
DEAXO ...................................................... 1-я обл., 259
LABComplEX ............................................................311
MetrolExpo .............................................................279
NDT ........................................................................247
SemiExpo ................................................................245
ВЛ Асептика ...........................................................291
Завод Протон .................................................вклейка
Микроэлектроника ........................................ 4-я обл.
Территория NDT ..............................................2-я обл.
Тиснум ...................................................................243
Фармтех .................................................................281
Хамаматсу .............................................................275
Химия .............................................................3-я обл.
ЦПТ ........................................................................ 241
and its radiation behavior, focusing on new
structures and materials. Evolution of test
facilities is also considered.
Keywords: magnetron sub-microelectronic devices,
radiation behavior, radiation tests
Recording holographic diffraction
grids using a pulse laser
B.G.Turukhano, N.Turukhano, I.A.Turukhano
This paper deals with a device for holographic
diffraction gratings (HDG) recording using a
pulse laser, which makes it possible to increase
the accuracy of grating and its diffraction
efficiency. For this purpose use was made of the
interferometer for recording gratings and an
optically connected second source of coherent
radiation located at the input. Such configuration
eliminates the need to track corrections during
illumination due to a short exposure period. A
synchronization unit was introduced into the
optoelectronic circuit which output was connected
to the second source of pulsed coherent radiation,
and the input – to the AC voltage source of the
optoelectronic circuit.
Keywords: holographic diffraction grids, pulse laser,
diffraction efficiency, interferometer, optoelectronic
circuit, synchronization unit, source of pulsed coherent
radiation
312
микроэлектронных приборов при снижении проектных
норм, а также перспективы развития обеспечивающей
инфраструктуры для радиационных испытаний.
Ключевые слова: субмикроэлектронные устройства, радиационное
поведение, радиационные испытания
Запись голографических дифракционных
решеток с помощью импульсного лазера
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, И.А.Турухано
В данной работе рассматривается устройство для
записи голографических дифракционных решеток (ГДР)
в импульсном лазере, которое позволяет повысить их
точность и дифракционную эффективность для чего в
интерферометре для записи решеток дополнительно
введен второй источник когерентного излучения –
импульсный лазер, расположенный на его входе и
оптически связанный с ним. Это устраняет необходимость
слежения за коррекциями во время засветки
в силу малости величины длительности времени
засветки. С этой целю в оптоэлектронную схему введен
блок синхронизации, выход которого связан со вторым
источником когерентного излучения импульсного
действия, а вход с источником переменного напряжения
оптоэлектронной схемы.
Ключевые слова: голографические дифракционные решетки,
импульсный лазер, дифракционная эффективность, интерферометр,
оптоэлектронная схема, блок синхронизации,
источник импульсного когерентного излучения
Издательство АО "РИЦ "ТЕХНОСФЕРА"
"ЭЛЕКТРОНИКА:
Наука, Технология, Бизнес"
Научно-технический журнал, посвященный
широкому спектру вопросов в области разработки
и изготовления электронной и радиоэлектронной
аппаратуры и ее компонентов,
а также отраслевых тенденций и состояния
рынка. Журнал ориентирован как на руководителей
различного уровня, так и на научных
и инженерно-технических работников в сфере
проектирования и производства электроники,
а также в смежных областях.
ISSN: 1992-4178
"ПЕРВАЯ МИЛЯ Last Mile"
Научно-технический журнал, посвященный
технологиям и бизнесу телекоммуникаций,
производства кабелей связи, телевизионного
вещания, информационной
безопасности. Особое внимание уделяется
сетям широкополосного доступа и локальным
телекоммуникационным сетям.
ISSN: 2070-8963
"НАНОИНДУСТРИЯ"
Научно-технический журнал, посвященный наноматериалам,
наноэлектронике, нанодатчикам
и наноустройствам, диагностике наноструктур
и наноматериалов, нанобиотехнологиям и применению
нанотехнологий в медицине.
ISSN: 1993-8578 (print) |
ISSN 2687-0282 (online)
"АНАЛИТИКА"
Межотраслевой научно-технический журнал
о создании, изучении и применении новых
веществ и материалов. Журнал посвящен
инновационным междисциплинарным
решениям и технологиям в химии и нефтехимии,
науках о жизни, материаловедении,
нанотехнологиях.
ISSN: 2227-572X
"ФОТОНИКА"
Научно-технический журнал по фотонным
и оптическим технологиям, оптическим материалам
и элементам, используемым в оптических
системах, оборудовании и станках.
ISSN: 1993-7296 (print) | ISSN 2686-844X (online)
♁ www.technosphera.ru
"СТАНКОИНСТРУМЕНТ"
Отраслевой научно-технический журнал, комплексно
рассматривающий проблемы станкоинструментальной
промышленности.
ISSN: 2499-9407
ИЗДАНИЕ КНИГ
Подготовка и выпуск научно-технической
и учебной литературы российских и зарубежных
авторов в широком спектре научных
дисциплин – от материаловедения и электроники
до биологии, медицины и нанотехнологий.
С книгами издательства "ТЕХНОСФЕРА"
(в том числе и с электронными версиями)
можно ознакомиться на нашем сайте.
Том 14 № 5 2021
Стр.8