«Определение параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами» УДК 621.66 М.В. Фомин, канд. техн. наук (Московский государственный технический университет им. <...> Н.Э. Баумана, e-mail; marc081939@gmail.com) ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОТКАЧНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА С ВИНТОВЫМИ КАНАЛАМИ ТРАПЕЦЕИДАЛЬНОГО ПРОФИЛЯ Рассмотрен алгоритм и пример расчета основных параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами, выполненными на цилиндрическом роторе. <...> В осевом сечении ротора каналы имеют трапецеидальную форму постоянного размера. <...> Для трехмерной модели методом Монте-Карло определены максимальная быстрота действия молекулярного насоса и максимальное отношение давлений газа. <...> Ключевые слова: молекулярный насос; максимальная быстрота действия; максимальное сжатие; метод МонтеКарло. <...> Основными параметрами откачных характеристик вакуумных насосов являются быстрота действия насоса при отношении давлений, равном единице, и отношение давлений при нулевом расходе. <...> Быстроту действия насоса определяют по формуле Smax = va F(C12 – C21) / 4, где va – средняя арифметическая скорость молекулы газа; F – площадь входного сечения насоса; С12 и С21 – вероятность соответственно прямого и обратного перехода молекул через проточную часть насоса. <...> Отношение давлений, которые пропорциональны вероятностям прямого и обратного перехода молекул через проточную часть насоса, находят по формуле τmax = C12 / C21. <...> Данные параметры используют для сравнительных расчетов и анализа влияния геометрических размеров насоса, частот вращения ротора, природы газа и т.д. на откачные характеристики насосов. <...> Для вычисления вероятностей прямого и обратного перехода молекул удобно использовать метод Монте-Карло, который отличается от других методов простотой, наглядностью и общностью при решении многих задач со сложной конфигурацией проточной части. <...> В данном случае <...>