УДК 534.114.620.178.151.2 РАСЧЕТ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ ЗОНДА ПРИ СТАТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ СЗМ НАНОСКАН Е. О. <...> Баранова, Е. В. Круглов, В. Н. Решетов, К. В. Гоголинский Приведен расчет напряженно-деформированного состояния пьезокерамического камертонного зонда при различных вариантах нагружения с использованием методов теории сопротивления материалов и теории упругости. <...> Пьезорезонансные датчики-кантилеверы используются в сканирующих нанотвердомерах модельного ряда “НаноСкан” производства ФГУ ТИСНУМ, а также в склерометрических измерительных головках сканирующих зондовых микроскопов “Солвер”, “Интегра” и “Солвер-Некст” производства ЗАО “НТ-МДТ” для измерений механических свойств материалов. <...> В качестве первичного преобразователя в этих приборах применяются зонды в виде консольной балки — камертона, на одной из ветвей которого закреплен алмазный наконечник-индентор. <...> Ветви камертона изготовлены из пьезокерамических биморфных пластин, ножка из металла (латунь) (рис. <...> Предметом проведенного исследования были особенности статического режима работы, в котором такие зонды применяются для проведения исследований механических свойств поверхности. <...> Измерения механических свойств (твердость, модуль упругости и др.) поверхности материалов осуществляются методами индентирования и склерометрии (царапание) [1, 2], требующими точного измерения приложенной нагрузки (1 мкН в диапазоне до сотен мН) и линейных перемещений индентора (1 нм в диапазоне единиц мкм). <...> Для измерения образец с помощью линейного нанопозиционера подводится к индентору, который внедряется в поверхность, при этом возникает сила, изгибающая датчиккантилевер. <...> Для измерения изгиба используется оптический датчик, состоящий из светодиода и фотодиода, световой поток между которыми частично перекрывается второй, пассивной, ветвью зонда. <...> При этом следует учитывать ряд специфических особенностей, обусловленных конструкцией <...>