Александр Нариманович Аблеев — научн. сотрудник Научно-исследовательского ядерного университета “МИФИ” (НИЯУ “МИФИ”); 8-917-524-14-54 E-mail: ableev@mail.ru Борис Федорович Ануфриев — канд. техн. наук, доцент НИЯУ “МИФИ”; 8-917-595-03-97 E-mail: BFAnufriyev@mephi.ru Сергей Павлович Мартыненко — научн. сотрудник НИЯУ “МИФИ”; 8-903-233-92-50 E-mail: spmart@mail.ru Юрий Семенович Шульман — гл. конструктор инженерного центра ОАО “Машиностроительный завод”. <...> 8-903-205-62-41 E-mail: elmsz@elemash.ru УДК 681.787 К содержанию ВОЛНОВОДНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР МАХА-ЦЕНДЕРА НА СТРУКТУРЕ КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ Н. В. <...> Масальский Обсуждается перспективный подход для синтеза высокоэффективного волноводного оптического интерферометра Маха-Цендера на основе стандартной кремниевой технологии. <...> На основе численных расчетов оптимизируются топологические параметры устройства для достижения высоких метрологических характеристик. <...> Ключевые слова: кремниевая фотоника, волноводный оптический интерферометр, кремний на изоляторе. <...> Волноводные оптические датчики на основе интерференционной схемы Маха-Цендера находят широкое применение как для измерения различных физических величин, так и для контроля параметров объекта [1]. <...> Большой интерес к оптическим устройствам такого рода обусловлен в основном их широкополостностью, высокой чувствительностью, большим динамическим диапазоном, простотой мультиплексирования сигнала, применением интегральных технологий [2]. <...> Последнее свойство прекрасным образом конвергируется с интенсивно развивающимся направлением оптоэлектроники, получившим название кремниевой фотоники [3, 4]. <...> Эта область связана с разработкой оптоэлектронных устройств, совместимых с кремниевой технологией, в частности технологией КНИ (кремний на изоляторе), которая широко используется в микроэлектронике. <...> Переход оптоэлект56 роники на кремниевую платформу позволит в полной мере использовать достижения полупроводниковой индустрии и существенно сократит <...>