УДК 681.586’33.543.27 ДАТЧИКИ НА ОСНОВЕ МИКРОТРУБОК: ПРИМЕНЕНИЕ В ГАЗОВОЙ ДИНАМИКЕ1 В. М. Анискин Рассмотрено применение микротрубок, технология изготовления которых разработана в ИФП СО РАН, для измерения параметров газовых течений. <...> На основе микротрубок были изготовлены трубчатый датчик термоанемометра, модельная поверхность для управления течением вблизи поверхности обтекаемого тела и микротрубка Пито. <...> ВВЕДЕНИЕ Одной из ключевых задач аэрогазодинамики является измерение малых высокочастотных пульсаций скорости в пограничном слое. <...> В настоящее время единственным датчиком, пригодным для измерения пульсаций при высоких скоростях потока, является термоанемометрический датчик, чувствительным элементом которого является тонкая металлическая проволока диаметром от 2 до 10 мкм. <...> Несмотря на микронные размеры проволоки, она является достаточно массивным элементом датчика, препятствующим измерению высокочастотных пульсаций скорости. <...> Поэтому важной задачей развития методов термоанемометрии является снижение массы чувствительного элемента датчика. <...> В данной работе приведены некоторые результаты использования датчиков, созданных на основе разработанной в ИФП СО РАН уникальной технологии изготовления микро- и нанотрубок, для исследования параметров течения в пограничном слое и истечения микроструй в затопленное пространство — трубчатых датчиков термоанемометра, массива распределенных трубчатых элементов и микротрубки Пито. <...> ТРУБЧАТЫЙ ДАТЧИК ТЕРМОАНЕМОМЕТРА В 2001 г. ИТПМ СО РАН совместно с ИФП СО РАН был предложен датчик термоанемометра нового типа [1], в котором вместо металлической проволоки применена токопроводящая микротрубка, изготовленная из полупроводниковых структур. <...> Для изготовления трубчатого элемента датчика была разработана оригинальная методика формирования микро- и нанотрубок (рис. <...> Для исследования свойств создаваемого датчика с трубчатым чувствительным элементом <...>