А.В. Шубникова ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН, Москва E-mail: a.vasiliev56@gmail.com Поступила в редакцию 20.07.2016 г. Представлены результаты исследования дефектов упаковки и дислокаций в гетероструктурах InGaAs/InAlAs/InAs методами электронной микроскопии. <...> Использование различных методик просвечивающей электронной микроскопии, главным образом высокоразрешающей темнопольной просвечивающей растровой электронной микроскопии, позволило определить структуру дефектов на атомном уровне. <...> DOI: 10.7868/S0023476117020291 ВВЕДЕНИЕ Гетероструктуры, сформированные на основе InyAl1– yAs/InxGa1– xAs, вызывают большой практический интерес, так как характеризуются высокой подвижностью электронов. <...> Одной из главных причин уменьшения подвижности может быть рассеяние электронов на дефектах, в частности на дислокациях и дефектах упаковки. <...> Дефектом упаковки называют нарушение упаковки слоев кристаллической решетки, которое может возникнуть при добавлении или изъятии кристаллического слоя [3]. <...> Дефекты упаковки внедрения в структуре сфалерита образуются при диссоциации полной 60°ной дислокации с векторами Бюргерса b = = a/2〈110〉, где a – постоянная элементарной ячейки. <...> Эти 60°-ные дислокации являются полными, так как вектор Бюргерса соответствует наименьшему примитивному вектору решетки в структуре сфалерита [4, 5]. <...> Когда направление линии дислокации параллельно кристаллографическому направлению [1 0], оба вектора Бюргер1 1 1 6 са а/2[01 ] и a/2[ 0 ] образуют угол 60° с линией дислокации. <...> Полные 60°-ные дислокации могут 1 249 распадаться на две частичные дислокации, ограничивающие любой дефект упаковки внедрения или вычитания. <...> Если предположить, что линия дислокации располагается параллельно направлению [110], то векторы Бюргерса частичных дислокаций соответствует следующей реакции: aa a / →+2[0 11] /6[121] /6[1 12]. <...> Эти частичные дислокации имеют углы между векторами Бюргерса и линиями дислокаций 30° и 90° соответственно (рис. <...> В [6] приведены три вида дислокаций Шокли <...>