КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 666.1.056 ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ИНТЕГРАЛЬНОГО РАССЕЯНИЯ ПРИ ОЦЕНКЕ КАЧЕСТВА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ЗЕРКАЛ PHOTOMETRY OF INTEGRAL SCATTERING FOR QUALITY ASSESSMENT OF INTERFERENCE MIRRORS Азарова Валентина Васильевна канд. физ.-мат. наук, нач. отдела Лобанов Петр Юрьевич вед. инженер Мануйлович Иван Сергеевич канд. физ.-мат. наук, научный сотрудник E-mail: ivan.manuylovich@gmail.com Сидорюк Олег Евгеньевич канд. физ.-мат. наук, нач. лаборатории E-mail: O. <...> М. Ф. Стельмаха, Москва Аннотация: Представлены результаты работ по созданию установки для исследования зеркал лазерных гироскопов, которая позволяет в автоматическом режиме производить измерение коэффициентов интегрального рассеяния образцов на длине волны 633 нм вплоть до 2—3 ppm, оперативно анализировать пространственное распределение этого параметра по поверхности зеркала. <...> Особое внимание уделено рассмотрению возможностей поляризационной модуляции излучения для расширения информативности анализа интерференционных тонкопленочных структур. <...> ВВЕДЕНИЕ Величина рассеянного оптического излучения в интерференционных покрытиях является одним из важных параметров, характеризующих качество, которое определяет технический уровень изделий на их ос42 Azarova Valentina V. Ph. <...> Stel'makh Polyus Research Institute, Moscow Abstract: The article presents the results of work on setup creation for the study of laser gyroscopes mirrors, which allows automatic measuring of the samples’ integral scattering up to 2—3 ppm at a wavelength of 633 nm, quickly analyzing the spatial distribution of this parameter on the mirror surface. <...> В частности, обратное рассеяние на зеркалах кольцевого резонатора является ключевой причиной захвата частот встречных волн в датчиках лазерных гироскопов и, соответственно, сужения границ работоспособности навигационных приборов [1]. <...> Sensors & Systems · ¹ 1.2017 С развитием технологий полировки подложек и нанесения тонкопленочных покрытий удается получать лазерные зеркала с коэффициентами интегрального рассеяния на уровне нескольких ppm (1 ppm = 10–6) [2]. <...> Это предусматривает <...>