Приборостроение и биотехнические системы УДК 621.3 С.П. БОГДАНОВ, В.Г. ЛИСИЧКИН, Д.П. САННИКОВ ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ФАЗОЧАСТОТНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПРИ ВИХРЕТОКОВОМ КОНТРОЛЕ Для повышения точности резонансных приборов контроля с линейной частотной модуляцией, применяемых для измерения толщины немагнитных покрытий, предлагается выполнять аддитивную коррекцию фазовых погрешностей, а также компенсировать погрешность измерений, возникающую от «сноса» резонансной частоты, за счет двухтактной развертки частоты возбуждающего сигнала первичного измерительного преобразователя. <...> Ключевые слова: резонансный прибор контроля, аддитивная коррекция фазовых погрешностей, развертка частоты. <...> ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ Важную роль в технологическом цикле многих производств играет контроль толщины и равномерности различного рода покрытий, основой которых является ферромагнитный материал. <...> Отличия в характере зависимости выходного сигнала вихретокового преобразователя от свойств контролируемого материала и размеров изделия позволяют измерять одним и тем же преобразователем несколько параметров – электропроводность, диаметр изделия или величину зазора (толщину немагнитного покрытия), используя для этой цели сигналы возбуждения разной частоты. <...> При увеличении зазора между преобразователем и изделием изменяется только амплитуда выходного сигнала, а его фаза остается практически постоянной. <...> В свою очередь, фаза выходного сигнала вихретокового преобразователя в существенной мере зависит от изменения электропроводности изделия, поэтому по значениям фазы можно с определенной достоверностью судить о толщине немагнитного покрытия. <...> Различные параметры производственного процесса – помехи промышленной частоты, изменение температуры контролируемой поверхности и окружающей среды, вариация зазора между вихретоковым преобразователем и поверхностью объекта контроля – являются дестабилизирующими <...>