Академика Лаврентьева, 13 E-mail: naumova@isp.nsc.ru Нанопроволочные полевые транзисторы являются высокочувствительными сенсорными элементами, предназначенными для качественного и количественного анализов биологических и химических веществ. <...> Оптимизация режима работы сенсоров — одна из ключевых задач повышения их чувствительности. <...> Предложен алгоритм выбора режима работы сенсоров на основе КНИ-транзисторов, позволяющий обеспечить их максимальный отклик в процессе мониторинга проводимости при детекции целевых частиц. <...> Хорошо известно, что из-за большого аспектного соотношения поверхность/объём нанопроволоки (НП) с омическими контактами на концах (областями стокаистока) могут быть использованы в качестве высокочувствительных сенсорных элементов [1–7]. <...> В таких сенсорах любая частица, адсорбируемая на поверхность НП, действует как локальный виртуальный затвор, вызывая изменение поверхностного потенциала и соответственно проводимости НП [1, 2]. <...> Предельная чувствительность этих сенсоров составляет одну частицу на проволоку при сопоставимости размеров НП и области обеднения, индуцируемой адсорбируемой частицей. <...> Сенсорные элементы могут изготавливаться в виде отдельно стоящих или размещённых на диэлектрике нанопроволок. <...> Локализация НП на диэлектрике (отсечение НП от проводящей подложки слоем диэлектрика, например, при изготовлении их на структурах кремний-на-изоляторе (КНИ)) превращает такой сенсор в полевой МОП-транзистор с двойным затвором. <...> Подложка структур, в частности КНИ, используется в качестве управляющего электрода—тылового затвора (BG), на котором напряжением VBG формируется канал проводимости вблизи границы раздела скрытый диэлектрик—НП. <...> Адсорбируемая частица с зарядом Qad действует как второй, виртуальный или верхний затвор (TG), вызывая изменение проводимости в канале из-за взаимосвязи потенциалов на противоположных границах НП [8, 9]. <...> Для сенсоров, работающих в режиме обеднения <...>