Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 635836)
Контекстум
Руконтекст антиплагиат система
Прикладная физика  / №6 2011

Синтез монокристаллов алмаза в СВЧ-плазме (10,00 руб.)

0   0
Первый авторБольшаков
АвторыРальченко В.Г., Польский А.В., Конов В.И., Ашкинази Е.Е., Хомич А.А., Шаранов Г.В., Хмельницкий Р.А., Заведеев Е.В., Хомич А.В., Совых Д.Н.
Страниц7
ID460355
АннотацияВ СВЧ-плазме (частота 2,45 ГГц) в смесях водород—метан на подложках из природных и синтетических монокристаллов алмаза с ориентацией (100) и размером до 5x5 мм выращены эпитаксиальные алмазные слои со скоростью осаждения до 40 мкм/ч. Структура и дефектно-примесный состав полученных монокристаллов толщиной до 600 мкм исследованы методами оппшческой спектроскопии, электронной и оптической микроскопии. Подтверждено высокое качество и чистота осажденных из плазмы алмазных слоев
УДК679.826; 621.793.162
Синтез монокристаллов алмаза в СВЧ-плазме / П.А. Большаков [и др.] // Прикладная физика .— 2011 .— №6 .— С. 100-106 .— URL: https://rucont.ru/efd/460355 (дата обращения: 15.05.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Sussmann R. S. CVD diamond for electronic devices and sensors. — Chichester: Wiley, 2009. <...> Mokuno Y., Chayahara A., Soda Y., Yamada H., Horino Y., Fujimori N. // Diamond Relat. <...> Calvani P., Rossi M. C., Conte G., Carta S., Giovine E., Pasciuto B., Limiti E., Bolshakov A., Ralchenko V., Sharonov G. // Mater. <...> Growth of the single crystal diamond in microwave plasma A. P. Bolshakov, V. G. Ralchenko, A. V. Polskiy, V. I. Kononov, . . <...> В СВЧ-плазме (частота 2,45 ГГц) в смесях водород—метан на подложках из природных и синтетических монокристаллов алмаза с ориентацией (100) и размером до 5x5 мм выращены эпитаксиальные алмазные слои со скоростью осаждения до 40 мкм/ч. <...> Структура и дефектно-примесный состав полученных монокристаллов толщиной до 600 мкм исследованы методами оппшческой спектроскопии, электронной и оптической микроскопии. <...>

Облако ключевых слов *


* - вычисляется автоматически
Антиплагиат система на базе ИИ