38 УДК 537.525.99 Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT А.Ф. <...> Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов, В.П. Тараканов В работе представлены результаты математического моделирования параметров плазмы индуктивного ВЧ разряда в аргоне PIC методом в диапазоне давлений 1мТор — 1Тор. <...> Показано, что при низких давлениях в области скин-слоя азимутальное поле осциллирует на основной частоте со средним значением равным нулю, в то время как радиальное поле имеет отличную от нуля постоянную составляющую. <...> Осцилляции азимутального электрического поля приводят к формированию пучка электронов, азимутальная скорость которого осциллирует со временем, достигая максимума дважды за период. <...> Rr Ключевые слова: индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, функция распределения по скоростям, сила Миллера Введение В настоящее время индуктивный ВЧ-разряд находится в центре внимания большого числа исследователей в связи с широким спектром возможностей его использования. <...> Очевидно, что усовершенствование известных источников плазмы и разработка нового поколения устройств может быть выполнено только на основе детального фундаментального исследования свойств разряда в широком диапазоне условий его существования. <...> Немаловажную роль в формировании физической картины разряда играют методы математического моделирования [1]. <...> Целью данной работы являлся численный расчет основных параметров плазмы в широком диапазоне давлений аргона, позволяющем проследить за изменениями параметров плазмы при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ-мощности [2]. <...> : +7 (495) 939–2574; +7 (495) 939–4773 E-mail: afalexandrov@gmail.com; ekralkina@mail.ru Статья поступила в редакцию 7 ноября 2013 г. © Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П., 2013 Методика расчетов Математической моделью, лежащей в основе кода КАРАТ [1], являются уравнения Максвелла <...>