94 Прикладная физика, 2015, № 4 Физическая аппаратура и ее элементы УДК 621.383:535.08 Исследование точности измерения спектральной характеристики методом Монте-Карло матричных ИК-фотоприемников диапазона 0,9-1,7 мкм А. Д. Деомидов, А. В. Полесский, Н. А. Семенченко, В. К. Тресак, А. А. Смирнов Проведена оценка точности измерения основных параметров спектральной характеристики: границ спектральной чувствительности по уровню сигнала 0,1, длины волны, соответствующей максимальной чувствительности, коэффициента использования и скорости его изменения от температуры для матричных фотоприемных устройств на основе InGaAs. <...> Исходными данными для расчета являлись требования нормативной документации к точности измерения фотосигнала и данные о точности измерения опорного фотоприемного устройства. <...> Оценка точности, полученная с помощью математического моделирования методом Монте-Карло, показала наличие систематической погрешности при выполнении измерений. <...> Cj; 85.60.Gz, 84.37.+q Ключевые слова: точность измерения, спектральная характеристика, матричное фотоприемное устройство, SWIR, InGaAs. <...> Введение Для диапазона 0,9-1,7 мкм можно выделить два основных типа матричных фотоприемных устройств (МФПУ): МФПУ, предназначенные для приема лазерного излучения, и МФПУ, предназначенные для приема сигналов в широком оптическом диапазоне спектра. <...> Измерение параметров МФПУ, предназначенных для приема сигналов в широком оптическом диапазоне спектра, начинается с контроля сигналов и шумов еще на ранних стадиях изготовления. <...> На финальных этапах контроль параметров начинается с контроля относительной спектральной характеристики чувствительности (далее ОСХ или спектральная характеристика), поскольку именно она используется для вычисления полезного потока, попадающего на фотоприемное устройство (ФПУ) [1, 2]. <...> Поэтому ошибки измерения Деомидов Александр Дмитриевич, инженер 1 кат. <...> Статья поступила в редакцию 1 июля 2015 г. © Деомидов А. Д., Полесский <...>