УДК 621.382:537.525 Д.В. Кадников, С.А. Смирнов, В.В. Рыбкин ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОДУКТОВ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИЭТИЛЕНА НА ПАРАМЕТРЫ НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ ВОЗДУХА (Ивановский государственный химико-технологический университет) е-mail: dkadnikov@rocketmail.com Целью данной работы является изучение влияния эффекта загрузки плазмохимического реактора на кинетику травления полиэтиленовой пленки (ПЭ) и параметров постоянного тока тлеющего разряда в воздухе. <...> Скорость травления увеличивается с ростом тока разряда, линейной скорости потока газа и мало зависит от давления газа при неизменных прочих внешних параметрах. <...> Ключевые слова: плазма воздуха, эффект загрузки, скорость травления, неравновесная плазма, напряженность электрического поля Свойства плазмы пониженного давления, граничащей с химически реагирующей поверхностью, зависят от количества обрабатываемого материала в реакторе. <...> Учет такой зависимости необходим как для понимания механизмов плазмохимических реакций, так и для прогнозирования параметров работы промышленных реакторов. <...> В таких реакторах плазма практически полностью ограничена обрабатываемым материалом. <...> Потоки продуктов гетерогенных реакций в газовую фазу так велики, что нельзя не считаться с их влиянием на внутренние параметры плазмы. <...> Известно, что при плазмохимическом травлении и модификации полимерных материалов наблюдается уменьшение удельной скорости плазмохимической деструкции с увеличением количества полимера в реакторе, называемое эффектом загрузки. <...> Для объяснения подобного эффекта обычно предполагают, что при постоянной скорости образования активных частиц их концентрация уменьшается из-за увеличения скорости их расходования с ростом обрабатываемой поверхности [1,2]. <...> При этом упускается из внимания то обстоятельство, что появление в газовой фазе продуктов травления должно влиять на физические параметры плазмы и, как следствие, на скорости образования активных частиц <...>