Прикладная физика, 2016, № 3 ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ УДК 621.3.049.774.2 Разработка МДП-варикапа с переносом заряда в СВЧ-диапазоне А. Б. <...> Спиридонов, С. В. Лицоев, И. И. Петручук Выполнен расчет характеристик МДП-варикапа с переносом заряда в ВЧ- и СВЧ-диапазоне. <...> Показано, что предельная частота прибора не менее чем в два раза выше предельной частоты обычного варикапа на основе системы МДП. <...> Разработана конструкция МДП-варикапа с узлом стока неосновных носителей заряда для СВЧ-фазовращателей. <...> Изготовлены экспериментальные образцы прибора на основе структур монокристаллического кремния толщиной 10 мкм с тонким эпитаксиальным слоем. <...> Предложена методика измерения параметров эквивалентной схемы прибора в СВЧ-диапазоне. <...> Проведенные расчеты и полученные характеристики образцов ВПЗ позволяют сделать вывод о перспективности использования прибора для реализации каскадной схемы плавных фазовращателей. <...> Введение Варикапы на основе системы «металлдиэлектрик-полупроводник» (МДП) могут быть использованы в электронных устройствах ВЧ- и СВЧ-диапазона для управления частотой и фазой переменного сигнала, а также для умножения частоты. <...> Разработка для этих целей варикапа на основе системы МДП обеспечивает принципиальную возможность снижения мощности управления. <...> Однако данная конструкция прибора по совокупности основных электрофизических характеристик уступает МДП-варикапам с использованием оксидов кремния. <...> E-mail: niimpk@mail.compnet.ru Статья поступила в редакцию 18 марта 2016 г. © Спиридонов А. Б., Лицоев С. В., Петручук И. И., 2016 75 ции неосновных носителей заряда. <...> Ряд конструкций варикапов на основе системы МДП обеспечивает удаление неосновных носителей из приповерхностной области полупроводника под полевым электродом. <...> Известна модификация МДП-варикапа для СВЧ-устройств — МДП-варикап с переносом и инжекцией заряда (ВПИ) [2]. <...> Малый зазор между полевым и тактовым электродами обеспечивает зарядовую связь между МДП-структурами <...>