РАДИОЭЛЕКТРОНИКА 85 РАДИОЭЛЕКТРОНИКА УДК 621.315.592 Влияние термообработок на структуру, химический состав и электропроводность алмазоподобных кремнийуглеродных нанокомпозитов А. Д. Баринов, А. И. Попов*, М. Ю. Пресняков, М. Л. Шупегин Исследованы влияния термообработок на структуру, химический и фазовый составы и электропроводность пленок танталсодержащих алмазоподобных кремний-углеродных нанокомпозитов. <...> Показано, что изменения фазового и химического составов материала и его электрофизических свойств при термообработках обусловлены взаимодействием с кислородом воздуха. <...> При этом наблюдаются лишь небольшие изменения электропроводности за счет структурных изменений в аморфной матрице. <...> Нанокомпозиты на основе кремний-углеродной матрицы (алмазоподобные (DLN) [1]) являются материалами, не уступающими, а по ряду параметров (низкие упругие напряжения коэффициент трения и показатель преломления, повышенная температурная стабильность, возможность в широком диапазоне изменять электрические свойства и другие) и превосходящими широко известные алмазоподобные пленки аморфного углерода [2]. <...> Наличие тетраэдрических структурных единиц углерода и оксида кремния обеспечивают высокую стабильность структурной сетки материала, что дает возможность вводить в аморфную матрицу большое количество металла (по крайней мере, до 70 ат. <...> В работе [5] описан не менее эффективный способ * popovai@mpei.ru управления свойствами нанокомпозитов — структурная модификация материала при постоянном химическом составе. <...> Изменения структуры в [5] происходили путем изменения технологических режимов (величина напряжения смещения на подложкодержателе, бомбардировка растущей пленки ионами аргона) в процессе изготовления пленок. <...> Вместе с тем, эксплуатация приборов и покрытий на основе пленок алмазоподобных нанокомпозитов (тонкопленочные резисторы, источники инфракрасного излучения, защитные покрытия), как правило, связана с их <...>