52, № 3 УДК 538.971, 538.958 ЭФФЕКТЫ БЛИЗОСТИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ ЛИТОГРАФИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ∗ Е. Е. <...> Пирогова, 2 E-mail: rodyakina@isp.nsc.ru Рассмотрены эффекты близости при формировании фотонных кристаллов в виде упорядоченных массивов однородных по размеру отверстий радиусом 100 нм методами электронно-лучевой литографии. <...> Экспериментально определены коэффициенты функции близости, характеризующей вклад обратнорассеянных и вторичных электронов в дозу экспонирования. <...> Показано, что минимальное стандартное отклонение от среднего значения радиуса элементов в массиве достигается коррекцией эффекта близости с использованием коэффициентов, полученных экспериментально, и итерационного уравнения с увеличенным вкладом от обратнорассеянных электронов. <...> Упорядоченные наноструктуры с контролируемыми пространственной плотностью и размерами представляют большой интерес для фундаментальных и прикладных исследований. <...> Примером объекта, состоящего из наноструктур с критичной однородностью элементов в массиве по форме и размерам, является фотонный кристалл — материал, структура которого характеризуется периодической модуляцией диэлектрической проницаемости в пространственных направлениях [1]. <...> Для создания фотонных кристаллов упорядоченные по форме и размеру наноструктуры с малыми периодами формируются с помощью электронно-лучевой литографии с последующим травлением через маску в резисте [2]. <...> Следствием этого является эффект близости (ЭБ), влияющий на однородность отверстий по форме и размеру. <...> Неоднородность размеров элементов в массиве влечёт нежелательное изменение электромагнитного спектра фотонных кристаллов [3, 4]. <...> Наиболее точное решение данной проблемы — коррекция дозы экспонирования [5, 6], которая устанавливается с учётом влияния ЭБ так, чтобы при проявлении все структуры были одинакового размера. <...> В электронно-лучевой литографии ЭБ в первом приближении ∗Работа выполнена при поддержке <...>