46 УДК 662.612:32 РАСЧЕТ ПРЕДЕЛОВ ВОСПЛАМЕНЕНИЯ СМЕСЕЙ СИЛАН — КИСЛОРОД И СИЛАН — ВОЗДУХ Д. А. <...> С. А. Христиановича СО РАН, 630090 Новосибирск d.a.tropin@itam.nsc.ru, fedorov@itam.nsc.ru Найдены верхние и нижние пределы воспламенения смесей силан— кислород и силан—воздух при давлении 0.05ч1.1 атм и температуре 350ч640 К на основе детальной химической кинетики Вестбрука. <...> Показано слабое влияние процесса гибели радикалов ОН на эти пределы (их устойчивость) в рамках аррениусовской модели кинетики. <...> Выявлено влияние состава смеси силан—воздух на пределы воспламенения. <...> Показано, что при увеличении доли силана изменение предельных температур воспламенения немонотонное. <...> Ключевые слова: силановоздушная смесь, время задержки воспламенения, детальная химическая кинетика, математическое моделирование. <...> DOI 10.15372/FGV20160105 ВВЕДЕНИЕ Как известно, силан широко используется на предприятиях полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности как один из источников кремния, который получается при сгорании силана. <...> Силан — самовоспламеняющийся газ, возгорание которого при контакте с воздухом происходит даже при комнатных условиях. <...> Вс¨ е это обусловливает его высокую пожароопасность и требует значительного внимания к вопросам моделирования воспламенения и горения силана. <...> В работе [1] была предложена модель детальной кинетики окисления силана, учитывающая 140 химических реакций (70 прямых и 70 обратных) с участием 23 компонентов. <...> К недостаткам этой модели можно отнести то, что не рассматриваются реакции образования SiO2 в конденсированном состоянии. <...> Этот компонент в модели возникает в элементарных газофазных реакциях, но с энтальпией в твердом состоянии. <...> Однако данная кинетическая схеРабота выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проекты № 14-08-31044-мол а, 12-08-00311-а) и Министерства образованияи науки РФ (проект № 211, задача № 2014/140). <...> В., 2016. ма позволила описать экспериментально время задержки воспламенения <...>