Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 635213)
Контекстум
Руконтекст антиплагиат система
Журнал структурной химии  / №1 2015

ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ (330,00 руб.)

0   0
Доступно в Google Play
Первый авторФайнер
АвторыКосяков В.И.
Страниц12
330,00р
ID359574
АннотацияВысокотемпературные пленки карбонитрида кремния синтезированы плазмохимиче-ским разложением газовых смесей 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана (ГМДС) (синоним по ИЮПАК бис(триметилсилил)амин) с гелием или аммиаком в области температур 673—1273 K. Показано, что пленки карбонитрида кремния, полученные в высокотемпе-ратурных процессах плазмохимического разложения кремнийорганических соединений, являются нанокомпозитными, в аморфную матрицу которых внедрены кристаллы, принадлежащие к фазам семейства a-Si3– nCnN4 и примесного графита. Для уточнения ранее полученных с использованием синхротронного излучения данных РФА проведено их сопоставление с литературными результатами моделирования структуры этих фаз. Показано, что в пленках присутствуют нанокристаллы a-Si3N4, a-Si2CN4, a-SiC2N4 и a-C3N4. Повышение концентрации аммиака в исходной газовой смеси приводит к уменьшению твердости пленок от 24 до 16 ГПа из-за увеличения содержания в пленках количества нанокристаллов a-Si3N4 и a-Si2CN4, обладающих меньшей твердостью по сравнению с a-C3N4 и a-SiC2N4.
УДК547.245:541.64
Файнер, Н.И. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ / Н.И. Файнер, В.И. Косяков // Журнал структурной химии .— 2015 .— №1 .— С. 171-182 .— URL: https://rucont.ru/efd/359574 (дата обращения: 09.05.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Показано, что в пленках присутствуют нанокристаллы a-Si3N4, a-Si2CN4, a-SiC2N4 и a-C3N4. <...> Повышение концентрации аммиака в исходной газовой смеси приводит к уменьшению твердости пленок от 24 до 16 ГПа из-за увеличения содержания в пленках количества нанокристаллов a-Si3N4 и a-Si2CN4, обладающих меньшей твердостью по сравнению с a-C3N4 и a-SiC2N4.! <...>

Облако ключевых слов *

1,5405 al et badzian diam h-si3n4 kosinova p. pnh3 sicxny solid film thin film yu rumyantsev кремнийорганических кремния химии химии структурной этих фазы
* - вычисляется автоматически
Антиплагиат система на базе ИИ