51, № 2 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.382 : 621.383.5 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОГРАНИЧЕНИЙ В КРЕМНИЕВЫХ СХЕМАХ СЧИТЫВАНИЯ СИГНАЛОВ ИНФРАКРАСНЫХ ФОТОПРИ¨ ЕМНИКОВ НА ОСНОВЕ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР С КВАНТОВЫМИ ЯМАМИ М. А. <...> Академика Лаврентьева, 13 E-mail: kozlov@isp.nsc.ru Представлены физико-технические принципы создания кремниевых мультиплексоров (КМ) для считывания и предварительной обработки фотосигналов детекторов инфракрасного спектрального диапазона 8–14 мкм. <...> Проведена оценка эквивалентной шуму разности температур фотоприёмников длинноволнового инфракрасного спектрального диапазона на основе КМ с кадровым накоплением сигналов многослойных структур с квантовыми ямами (МСКЯ). <...> Проанализированы особенности влияния технологических ограничений в кремниевых схемах считывания фотосигналов на характеристики ИК-фотоприёмников в широком диапазоне параметров фотодетекторов на основе МСКЯ и проектных норм КМОП-технологии изготовления КМ. <...> Ключевые слова: кремниевый мультиплексор, схема считывания фототоков, многоэлементный инфракрасный фотоприёмник, фотодетектор на основе многослойных структур с квантовыми ямами. <...> Потребность совершенствования тепловизионных систем в плане уменьшения эквивалентной шуму разности температур (NETD) и улучшения пространственного разрешения определяет современные тенденции развития интегральных схем считывания фотосигналов, так называемых кремниевых мультиплексоров (КМ) для инфракрасных фотоприёмников (ИК ФП), состоящие в увеличении формата матрицы и уменьшении размеров фоточувствительных элементов (ФЧЭ) [1, 2]. <...> При этом основными особенностями ИК ФП, которые надо учитывать в ходе разработки КМ, являются существенное изменение параметров ФЧЭ и оптимальный выбор кремниевой технологии с соответствующими проектными нормами. <...> В ряде работ проведено качественное сравнение матричных мультиплексоров с построчным и кадровым накоплением <...>