А. В. СМИРНОВ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОЛОСЫ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ТЕРАГЕРЦОВЫХ СМЕСИТЕЛЕЙ НА ЭФФЕКТЕ ЭЛЕКТРОННОГО РАЗОГРЕВА В NbZr, NbN И В ОДИНОЧНОМ ГЕТЕРОПЕРЕХОДЕ AlGaAs/GaAs Монография Москва 2013 УДК 58 ББК 32.849 С506 Научный редактор Г. Н. Гольцман, доктор физико-математических наук, профессор Московского педагогического государственного университета Рецензенты: В. К. Корнев, доцент каф. атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники МГУ им. <...> Исследование полосы преобразования терагерцовых смесителей на эффекте электронного разогрева в NbZr, NbN и в одиночном гетеропереходе AlGaAs/GaAs: Монография. <...> Приведено описание HEB-смесителей на основе тонких пленок NbN, NbZr и на основе 2DEG гетероструктуры AlGaAs/GaAs. <...> Представлены результаты исследований частотных характеристик HEB смесителей на основе плёнок NbN и микромостиков NbZr, нанесенных на подложки из сапфира. <...> 18 §1.2 Гетеродинные приемники на основе СИС и ДБШ смесителей. <...> 25 §1.4 Сверхпроводниковые смесители на эффекте разогрева электронов с фононным каналом охлаждения. <...> Описание исследуемых образцов и методов измерений 45 48 §2.1 Смесители на основе тонких пленок NbN. <...> 53 §2.4.2 Методика измерения полосы преобразования смесителей на основе гетероструктуры AlGaAs/GaAs при температуре 77К. <...> 55 §2.5 Методика измерения полосы ПЧ HEB смесителей на основе сверхпроводящих пленок NbZr. <...> . 58 §2.6 Методика измерения полосы ПЧ квазиоптических NbN смесителей 61 3 Глава 3. <...> Полоса преобразования квазиоптических HEB смесителей на основе сверхпроводящих пленок NbN и NbZr 67 § 3.1 Полоса преобразования NbZr смесителей вблизи критической температуры на частоте 130ГГц. <...> Неболометрический вклад в полосу преобразования на низких частотах гетеродина. <...> Исследование характеристик квазиоптических смесителей на основе разогрева 2D газа в гетероструктуре AlGaAs/GaAs при температуре 77 К 83 §4.1 Смеситель с фононным каналом охлаждения электронов. <...> Многие молекулярные соединения, важные для астрофизических процессов и планетарных наук, имеют четко выраженные <...>
Исследование_полосы_преобразования_терагерцовых_смесителей_на_эффекте_электронного_разогрева_в_NbZr,_NbN_и_в_одиночном_гетеропереходе_AlGaAsGaAs_Монография_(1).pdf
УДК 58
ББК 32.849
С506
Научный редактор
Г. Н. Гольцман, доктор физико-математических наук, профессор
Московского педагогического государственного университета
Рецензенты:
В. К. Корнев, доцент каф. атомной физики, физики плазмы и
микроэлектроники МГУ им. М.В.Ломоносова, доктор физикоматематических
наук
А. П. Мельников, проф. каф. общей и экспериментальной физики МПГУ,
доктор физико-математических наук
С506 Смирнов А. В. Исследование полосы преобразования терагерцовых
смесителей на эффекте электронного разогрева в NbZr, NbN и в одиночном
гетеропереходе AlGaAs/GaAs: Монография. – М.: Прометей, 2013. – 112 с.
Монография посвящена исследованию полосы преобразования
терагерцовых смесителей на эффекте электронного разогрева в NbZr, NbN и в
одиночном гетеропереходе AlGaAs/GaAs. Дан обзор современных приёмников
миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов волн, а также обзор работ,
посвященных исследованию явления электронного разогрева. Приведено
описание HEB-смесителей на основе тонких пленок NbN, NbZr и на основе
2DEG гетероструктуры AlGaAs/GaAs. Рассматривается методический аспект
проведенных экспериментов с описанием используемых экспериментальных
установок. Представлены результаты исследований частотных характеристик
HEB смесителей на основе плёнок NbN и микромостиков NbZr, нанесенных
на подложки из сапфира.
ISBN 978-5-7042-2467-9
© А. В. Смирнов, 2013
© Издательство «Прометей», 2013
Стр.2
Оглавление
Введение
Глава 1. Обзор литературы
5
18
§1.1 Болометрические приемники прямого детектирования....................... 18
§1.2 Гетеродинные приемники на основе СИС и ДБШ смесителей........... 21
§1.3 Электронный разогрев в сверхпроводниковых пленках...................... 25
§1.4 Сверхпроводниковые смесители на эффекте разогрева электронов
с фононным каналом охлаждения. ................................................................. 33
§1.5 Двумерный электронный газ в гетероструктурах. Эффект
электронного разогрева в полупроводниках................................................. 39
§1.6 Смесители на основе эффекта электронного разогрева в
полупроводниках. ............................................................................................ 42
§1.7 Смесители с фононным и диффузионным механизмами охлаждения
2D электронов в гетероструктуре AlGaAs/GaAs......................
Глава 2. Описание исследуемых образцов и методов измерений
45
48
§2.1 Смесители на основе тонких пленок NbN................
§2.2 Смесители на основе тонких пленок NbZr...............
48
49
§2.3Смесители на основе гетероперехода AlGaAs/GaAs........................... 50
§2.4 Методики измерения и описание экспериментальных установок
для исследования смесителей на основе гетероструктуры AlGaAs/GaAs
при температуре 77 К...................................................................................... 53
§2.4.1 Поверхностная концентрация носителей ns, вольтамперные
характеристики и температурная зависимость сопротивления.................. 53
§2.4.2 Методика измерения полосы преобразования смесителей на
основе гетероструктуры AlGaAs/GaAs при температуре 77К..................... 55
§2.5 Методика измерения полосы ПЧ HEB смесителей на основе
сверхпроводящих пленок NbZr. ..................................................................... 58
§2.6 Методика измерения полосы ПЧ квазиоптических NbN смесителей 61
3
Стр.3
Глава 3. Полоса преобразования квазиоптических HEB смесителей
на основе сверхпроводящих пленок NbN и NbZr
67
§ 3.1 Полоса преобразования NbZr смесителей вблизи критической
температуры на частоте 130ГГц..................................................................... 67
§ 3.2 Полоса преобразования NbN смесителей. Неболометрический
вклад в полосу преобразования на низких частотах гетеродина................ 71
Глава 4. Исследование характеристик квазиоптических смесителей
на основе разогрева 2D газа в гетероструктуре AlGaAs/GaAs при
температуре 77 К
83
§4.1 Смеситель с фононным каналом охлаждения электронов.................. 84
§4.1.1 Исследование полосы преобразования............................................... 84
§4.1.2 Эффективность преобразования.......................................................... 87
§4.1.3 Оптимальная поглощенная мощность гетеродина............................ 90
Заключение
Публикации автора
Используемая литература
92
94
96
4
Стр.4