Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. <...> УДК 776:681.7.02(075.8) ББК 37.83я73+22.34я73 ISBN 978-5-7996-1110-1 2 © Уральский федеральный университет, 2014 ФОТОЛИТОГРАФИЯ Литографией называется процесс формирования на поверхности подложки с помощью чувствительного материала защитного рельефного покрытия с изображением элементов топологии и последующего переноса изображения на подложку. <...> Фотолитография в свою очередь использует ближнее ультрафиолетовое излучение (360–450 нм), среднее ультрафиолетовое излучение (300–360) и дальнее ультрафиолетовое излучение (100–300 нм). <...> Фотолитография, использующая ближнее ультрафиолетовое излучение, позволяет получать элементы топологии размером до 0,5 мкм. <...> Фотолитография по сравнению с другими способами является хорошо изученным, более дешевым и производительным процессом, для всех этапов которого в микроэлектронной промышленности разработаны разные виды оборудования, как для изготовления самих микросхем, так и для изготовления фотошаблонов. <...> В оптической промышленности фотолитография находит широкое применение при изготовлении оптических деталей, особенно при изготовлении оптических шкал. <...> В оптических шкалах не используются элементы топологии шириной менее 1,5 мкм, поэтому для их производства наиболее целесообразно использовать именно фотолитографию. <...> Фотолитографический процесс состоит в следующем: на поверхности подложки формируют тонкую пленку фоторезиста, экспонируют эту пленку, т. е. облучают ее актиничным светом (ультрафиолетовым излучением) через фотошаблон с изображением топологии, затем проявляют. <...> 3 Основные термины Приведем основные термины, используемые в технологических процессах фотолитографии в оптической промышленности. <...> Фотолитография – процесс формирования на поверхности подложки элементов топологии с помощью чувствительных к ультрафиолетовому излучению покрытий, способных воспроизводить заданное взаимное <...>
Фотолитографические_технологии_в_производстве_оптических_деталей.pdf
УДК 776:681.7.02(075.8)
ББК 37.83я73+22.34я73
К84
Рецензенты: начальник оптического производства М. О. Фамильцев
(ОАО «Производственное объединение “Уральский оптико-механический
завод” имени Э. С. Яламова»);
главный технолог канд. техн. наук А. Е. Печорских
(научно-производственная компания «Очки для Вас»)
Научный редактор проф., д-р техн. наук В. А. Дерябин
К84
Кручинин, Д. Ю.
Фотолитографические технологии в производстве оптических
деталей : учебное пособие / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова.
– Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 51, [1] с.
ISBN 978-5-7996-1110-1
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических
шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии
на поверхности.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению
«Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими
технологиями.
Библиогр.: 8 назв. Табл. 1. Рис. 4.
УДК 776:681.7.02(075.8)
ББК 37.83я73+22.34я73
ISBN 978-5-7996-1110-1
2
© Уральский федеральный
университет, 2014
Стр.3
ОГЛАВЛЕНИЕ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ .............................................................................. 3
Основные термины ................................................................................ 4
Фоторезисты ........................................................................................... 5
Основные технологические операции ................................................. 7
Фотошаблоны ....................................................................................... 21
Фотолитографическое оборудование ................................................. 23
Чистота воздушной среды, микроклимат, специальные условия
производства ......................................................................................... 25
ОПТИЧЕСКИЕ ШКАЛЫ ....................................................................... 28
Виды оптических шкал ........................................................................ 28
Подложки оптических шкал ............................................................... 30
Маскирующие покрытия ..................................................................... 32
Фотолитографические технологии ..................................................... 32
Способы изготовления фотошаблонов оптических шкал ................ 39
ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ, ТРЕБУЮЩИЕ ФОРМИРОВАНИЯ
ТОПОЛОГИИ НА ПОВЕРХНОСТИ .................................................... 43
Металлизированные зеркальные покрытия ....................................... 43
Диэлектрические зеркальные покрытия ............................................ 45
Использование фотолитографии при изготовлении
других деталей ..................................................................................... 45
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ....................................................................................... 47
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ................................................... 48
49
Стр.50