БАХРАТОВ ТЕСТОВЫЕ ЗАДАЧИ ПО ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ И АКСЕЛЕРОМЕТРОВ Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. <...> Б30 Тестовые задачи по технологии микромеханических гироскопов и акселерометров : учеб. пособие / А.Р. Бахратов. <...> – 35, [1] с. тике изготовления микромеханических приборов – гироскопов и акселерометров. <...> Н.Э. Баумана, 2009 СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ ММА – микромеханический акселерометр ММГ – микромеханический гироскоп МСТ – микросистемная техника МЭМС – микроэлектромеханическая система ОСиН – ориентация, стабилизация и навигация ТП – технологический процесс ХДП – химико-динамическая полировка ХМП – химико-механическая полировка 3 ЗАДАЧИ 1. <...> В приборах ориентации, стабилизации и навигации применяют изделия, которые обозначают аббревиатурой МЭМС. <...> Охарактеризуйте термин МЭМС, что это: а) модульная электромеханическая система; б) малогабаритная электромагнитная система; в) микроэлектромеханическая система? <...> В чем заключается принципиальное различие обычной электромеханической системы (гироскопа, акселерометра) и МЭМС: а) в ограниченных минимальными размерами элементах; б) в особенностях взаимосвязи между электрическими и механическими элементами; в) в единстве технологии изготовления и взаимосвязи между элементами? <...> В приборах ОСиН разного применения объединяются изделия МСТ, а также узлы и элементы, имеющие функциональное целевое назначение, изготовленные по различным технологиям. <...> Эти изделия, узлы и детали имеют разные массогабаритные характеристики и разные принципы действия. <...> В чем заключается различие между изделием МСТ и комплексированным изделием МСТ: а) в наличии большого количества входящих в состав прибора элементов; б) во взаимосвязи нескольких изделий МСТ внутри прибора или взаимосвязи изделия МСТ с микросистемой из обычных элементов? <...> Кварцевое стекло как материал, обладающий минимальными потерями на внутреннее трение и гистерезис <...>
Тестовые_задачи_по_технологии_микромеханических_гироскопов_и_акселерометров.pdf
УДК 531.383+531.768(075.8)
ББК 34.96
Б30
Рецензенты: Ю.И. Бадин, А.С. Чижов
Бахратов А.Р.
Б30
Тестовые задачи по технологии микромеханических гироскопов
и акселерометров : учеб. пособие / А.Р. Бахратов. – М.:
Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. – 35, [1] с.
тике изготовления микромеханических приборов – гироскопов и акселерометров.
Даны необходимые для решения задач теоретические
сведения.
Для студентов, обучающихся специальности «Приборы и системы
ориентации, стабилизации и навигации».
УДК 531.383+531.768(075.8)
ББК 34.96
Изложены технологические задачи, часто встречающиеся в пракУчебное
издание
Бахратов Ануфрий Рафаилович
Тестовые задачи по технологии микромеханических
гироскопов и акселерометров
Редактор О.М. Королева
Корректор М.А. Василевская
Компьютерная верстка А.Ю. Ураловой
Подписано в печать 07.12.2009. Формат 60×84/16.
Усл. печ. л. 2,09. Тираж 100 экз. Изд. № 55. Заказ
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Типография МГТУ им. Н.Э. Баумана.
105005, Москва, 2-я Бауманская, 5.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009
Стр.2
Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. Технология обработки поверхностей в
микроэлектронике. Киев: Техника, 1990.
Распопов В.Я. Микромеханические приборы: Учеб. пособие. Тула:
Гриф и К, 2004.
А. с. 1524336 МКИ В24В 37/04. Способ финишной алмазно-абразивной
обработки. Опубл. 1989. Бюл № 35. 3 с.
Технология СБИС. В 2 кн: Пер. с англ. М.: Мир, 1986. Кн. 1; Кн. 2.
Фотолитография и оптика / Под ред. Я.А. Федотова и Г.Я. Поля. М.:
Сов. радио, 1974.
Чистые помещения: Пер. с япон. М.: Мир, 1990.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Список принятых сокращений ................................................................... 3
Задачи ........................................................................................................... 4
Ответы и пояснения .................................................................................... 15
Литература ................................................................................................... 35
36
Стр.36