УДК 53.086
Исследование границы металлизации
микроэлектронных структур с помощью
конфокальной микроскопии
© П.С. Захаров, В.С. Зайончковский, Е.Б. Баскаков
КФ МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, г. Калуга, 248600, Россия
Новым методом исследования поверхности твердых тел является конфокальная
микроскопия, которая позволяет резко увеличить точность измерений неровности
поверхности в вертикальном направлении, при этом разрешение в горизонтальном
направлении остается на уровне традиционных оптических микроскопов. <...> Такое соотношение в разрешении в двух взаимно перпендикулярных направлениях позволяет
получать новую, достаточно уникальную информацию, которая недоступна даже
при использовании сканирующей электронной микроскопии с высоким разрешением. <...> В статье представлены микрофотографии краев металлизации на подложках
арсенида галлия и кремния. <...> Показано, что вблизи края метод конфокальной микроскопии позволяет выявить изменения рельефа, связанные с упругими деформациями
и металлической пленки, и подложки. <...> Более того, используемый метод позволяет
определить кристаллографическую ориентацию подложки. <...> С помощью конфокального микроскопа Nanofocus, в
модификации «surf mobile» [1], были изучены три различных образца. <...> Данный микроскоп имеет разрешение в вертикальном направлении
(z-направлении) 2 нм, при разрешении в x-, y-направлениях — 0,7 мкм,
при использовании объектива с увеличением 50х и числовой апертуре
0,8. <...> Такая разница в разрешении в двух взаимно перпендикулярных
направлениях позволяет получать новую и достаточно уникальную информацию о поверхности. <...> Микроскоп предоставлен Калужским лазерным инновационно-технологическим центром — центром коллективного пользования, г. Обнинск, при помощи Министерства развития информационного общества и инноваций Калужской области и Агентства инновационного
развития Калужской области (АИРКО). <...> Сплав серебра с германием на арсениде галлия. <...> В качестве примеров можно привести <...>