УДК 621.38
Методы получения и результаты исследования
свойств графена
© Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Рассмотрены методы получения и структуризации графеновых пленок. <...> Дано описание интегральной методики исследования графена, синтезированного путем
однократного напуска ацетилена методом CVD, определяющим топологию, количество слоев, внедрение химических примесей, дефектов структуры и поверхностных
напряжений в графене. <...> Приведены результаты исследований тестовых структур
графена методом «полуконтактной» атомно-силовой микроскопии в сочетании с
методом конфокальной микроскопии комбинационного рассеяния света. <...> Ключевые слова: графен, транзисторная структура на основе графена, атомно-силовая микроскопия (АСМ), спектроскопия комбинационного рассеяния света (КРС),
микрорамановское картирование, химическое осаждение из газовой фазы (CVD),
полиметилметакрилат (ПММА). <...> Это позволяет утверждать, что графен
является весьма перспективным материалом для построения высокочастотного полевого транзистора [2]. <...> Помимо возможности создания
СВЧ-транзистора с частотой порядка 100 ГГц…1 TГц [2], графен перспективен в качестве элемента микро- и наносистемной техники, например в НЭМС в качестве мембраны, поскольку обладает прочностью
на разрыв порядка ~55 ГПа [1]. <...> Основным препятствием служит то, что значительная часть времени и усилий уходит на процесс «расслаивания» углерода и получение графеновых пленок в случае
механического расщепления графена. <...> Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов
Тестовые образцы для исследований графеновых пленок изготавливались на базе Института проблем технологии микроэлектроники и
особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН), г. Черноголовка, в Лаборатории высококачественных и совершенных пленок. <...> Методы
получения графена можно разделить на две группы по механизму формирования: механические методы отщепления или отшелушивания
слоев <...>