УДК 621.3.049.77
Перспективы получения нанометровой шероховатости
поверхности ионно-лучевым методом
© Е.В. Одинокова, Ю.В. Панфилов, П.И. Юрченко
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Анализируются перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности
с помощью ионно-лучевой обработки, необходимой для изготовления элементов
оптических систем с шероховатостью поверхности порядка Ra 1…4 нм, например,
зеркал лазерных гироскопов, линз и зеркал телескопов и т. п. <...> Приводятся результаты теоретических исследований изменения коэффициента распыления материалов
при ионно-лучевой обработке в зависимости от профиля микронеровностей поверхности и угла падения ионов. <...> Описана методика проведения экспериментальных исследований с учетом полученных теоретических зависимостей, а также
с различными энергетическими характеристиками пучка ионов и при различной
длительности обработки. <...> Представлены результаты исследования рельефа поверхности ситалловой подложки с помощью атомно-силового микроскопа Solver Next
до ионно-лучевой обработки и после воздействия на нее потока ионов с энергиями
1 и 3 кэВ, направляемого под различными углами. <...> Показан пример представления результатов измерения микрорельефа поверхности, полученных с помощью зондовых
микроскопов, в относительных единицах после компьютерной обработки сканов. <...> Ключевые слова: атомно-гладкая поверхность, ионно-лучевая обработка, коэффициент распыления, угол падения ионов. <...> В последнее время появилось много статей о якобы полученных
уровнях шероховатости поверхностей, исчисляемых долями нанометра,
причем авторов не смущает тот факт, что размеры отдельных атомов
составляют доли нанометра. <...> В результате детального анализа этих статей выясняется, что мало кто задумывается о самом понятии «атомарногладкой» поверхности, а измеренные с помощью сканирующих зондовых микроскопов параметры шероховатости отражают не более чем
результаты математической <...>