С. А. Бростилов, Т. И. Мурашкина, Т. Ю. Бростилова
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ
НА ОСНОВЕ ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА
Аннотация. <...> Разработана новая конструкция волоконно-оптического датчика
давления на туннельном эффекте, технологический процесс сборки которого
упрощен в сравнении с базовой конструкцией, в два раза уменьшены габаритные размеры. <...> Ключевые слова: волоконно-оптический преобразователь, волоконно-оптический датчик, туннельный эффект, кремниевая мембрана, функция преобразования, технологический процесс, оптические волокна. <...> К такому эффекту относится так называемый эффект туннелирования, который в оптике называют «туннельный эффект». <...> Изменение состояния материала в пределах данной
длины ведет к изменению параметров оптического излучения. <...> Авторы данной
статьи предлагают данный эффект использовать при разработке волоконнооптических датчиков давления (ВОДД), причем без кардинального изменения
базовых конструктивов, т.е. максимально используя ранее разработанные конструкции датчиков давления, в частности ВОДД отражательного типа [1, 2]. <...> Известные ВОДД отражательного типа, содержащие оптические волокна, установленные на фиксированном расстоянии от светоотражающей поверхности (металлической мембраны или отражающего аттенюатора), процесс
измерения давления в которых осуществляется путем регистрации изменения
интенсивности отраженного светового потока в зависимости от прогиба мембраны, имеют один существенный недостаток: высокую температурную погрешность, обусловленную изменением геометрических размеров датчиков. <...> Описание конструкции
В разработанном ранее ВОДД на основе оптического туннельного эффекта данный недостаток устранен (рис. <...> Волоконно-оптический датчик давления на основе туннельного эффекта:
а – базовая конструкция; б – модернизированная конструкция
№ 4 (16), 2010 Технические науки. <...> Электроника, измерительная и радиотехника
107
Известия высших учебных заведений <...>