Материалы электронной техники (90,00 руб.)

П. Г. Демидова Кафедра микроэлектроники Материалы электронной техники Лабораторный практикум Рекомендовано Научно-методическим советом университета для студентов, обучающихся по направлению Электроника и наноэлектроника Ярославль 2012 1 УДК 621.3(076.5) ББК З85я73 Р 84 Рекомендовано Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного издания. <...> П. Г. Демидова, 2012 2 Лабораторная работа № 1 Параметры монокристаллических кремниевых пластин Цель работы: изучение основных параметров и маркировки кремниевых пластин, проведение контроля геометрических параметров, определение типа проводимости методом термозонда. <...> Приборы и принадлежности: штангенциркуль, многооборотный индикатор-микрометр, источник питания «Агат», цифровой вольтметр В7-21А, зонд, нагреваемый зонд, набор монокристаллических пластин кремния. <...> Краткая теория работы Полупроводниковые пластины и их параметры Основными исходными материалами электронной техники для изготовления интегральных схем (ИС) являются монокристаллические полупроводниковые пластины круглой формы диаметром 40-300 мм и толщиной 350–1000 мкм из кремния, германия, арсенида галлия, антимонида индия и т. д., на которых методами планарной технологии формируют элементы, имеющие микронные и субмикронные размеры. <...> Для получения, кремниевых приборов и интегральных схем применяемые полупроводниковые пластины должны удовлетворять жестким требованиям по геометрическим размерам, кристаллографической ориентации, электрофизическим параметрам (концентрации и подвижности носителей заряда) и т. д. <...> Для характеристики полупроводниковых пластин производится их маркировка. <...> Первая буква (или две) означают исходный материал (К – кремний, Г – германий, АГ – арсенид галлия), вторая буква – тип проводимости (Э – электронная, Д – дырочная), третья буква (или две) – легирующие элементы (Б – бор, Ф – фосфор, С – сурьма, З – золото, Г – галлий, Ц – цинк, Т – теллур и т. д.) <...> . После буквенного <...>