ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 28, № 1, 2023
январь – февраль
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр
экспертизы» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Беспалов Владимир Александрович – чл.-корр. РАН, д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Боргардт Николай Иванович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гагарина Лариса Геннадьевна – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Душкин Александр Викторович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Коноплёв Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва,
Россия), ORCID: 0000-0002-2441-7455
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Национальный исследовательский
ядерный университет «МИФИ» (Москва, Россия)
© «Известия вузов. Электроника», 2023
© МИЭТ, 2023
Стр.3
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий
микроэлектроники РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Светухин Вячеслав Викторович – чл.-корр. РАН, д.физ.-мат.н., проф.,
НПК «Технологический центр» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Орловский государственный университет им. А. С. Тургенева (Орёл, Россия),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Хорев Анатолий Анатольевич – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-9074-385X
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией И. М. Доронина
Редактор А. В. Тихонова
Корректор И. В. Проскурякова
Верстка А. Ю. Рыжков, С. Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 14.02.2023. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 16,74 усл.печ.л., 15,448 уч.-изд.л. Тираж 130 экз. Заказ № 21. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы основные
научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени
доктора наук по следующим группам специальностей:
2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
2.2.8. Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды
2.3.1. Системный анализ, управление и обработка информации
2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
2.3.5. Математическое и программное обеспечение вычислительных систем, комплексов и компьютерных
сетей
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Является членом Crossref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге «Пресса России» ООО «Агентство «Книга-Сервис» – 38934.
Подписной индекс в каталоге «Периодические издания. Газеты и журналы»
ООО «Урал-Пресс Округ» – 47570.
2
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2023 28(1)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Силаков Г. О., Лазоркина Е. Н., Гаврилов С. А., Воловликова О. В., Железнякова А. В.,
Дудин А. А. Исследование реакционной способности структуры por-Si/Pd по отношению к парам
этанола ...................................................................................................................................................... 7
Дронова Д. А., Дронов А. А. Исследование электрохимических свойств анода натрий-ионного
аккумулятора на основе нанотрубчатого анодного TiO2 ....................................................................... 17
Дмитриев В. К., Ильичёв Э. А., Кирпиленко Г. Г., Петрухин Г. Н., Рычков Г. С.,
Фролов В. Д. Характеристики и области возможных применений аморфных кремнийуглеродных
и металл-кремний-углеродных пленок. Обзор ................................................................ 24
Технологические процессы и маршруты
Gromov D. G., Dubkov S. V., Savitskiy A. I., Gavrilov S. A. Features of the nanoparticles and binary
nanoalloys formation during thermal evaporation and condensation on an inert surface in vacuum
(Громов Д. Г., Дубков С. В., Савицкий А. И., Гаврилов С. А. Особенности формирования наночастиц
и бинарных наносплавов при термическом испарении и конденсации на инертной поверхности
в вакууме) ....................................................................................................................................... 49
Алексеев А. В., Переверзева С. Ю., Рязанов Р. М., Громов Д. Г. Особенности получения композитного
электродного материала суперконденсатора УНТ/RuO2·xH2O методом электрофоретического
соосаждения ................................................................................................................................ 59
Элементы интегральной электроники
Белов Е. Н., Королёв М. А. Исследование влияния электрического переходного процесса на результаты
измерения теплового сопротивления ИС косвенным методом на основе термочувствительного
параметра ....................................................................................................................... 79
Якунина Н. В., Некрасов Н. П., Неволин В. К., Бобринецкий И. И. Переключение проводимости
в латеральных каналах на основе максенов Ti3C2Tx .................................................................. 88
Интегральные радиоэлектронные устройства
Дворников О. В., Чеховский В. А., Прокопенко Н. Н., Галкин Я. Д., Кунц А. В., Чумаков В. Е.
Быстродействующие широкополосные операционные усилители на базовом матричном кристалле
........................................................................................................................................................ 96
Информационно-коммуникационные технологии
Ефанов Д. В., Зуева М. В. Коды с суммированием с сериями перестановок весов между информационными
векторами для систем технического диагностирования ................................................. 112
Сотников А. В., Шипатов Е. А., Шипатов А. В. Алгоритм выделения объектов на изображениях
на основе слияния суперпикселей .................................................................................................. 129
Конференции
Гагарина Л. Г. Об итогах III Научно-практической конференции с международным участием
«Актуальные проблемы информатизации в цифровой экономике и научных исследованиях
– 2022» ............................................................................................................................ 140
и молодых ученых «Микроэлектроника и информатика – 2023» с международным участием ...... 142
К сведению авторов .............................................................................................................................. 143
XXX Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2023 28(1)
3
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 28, No. 1, 2023
January – February
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Vladimir A. Bespalov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Nikolay I. Borgardt – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Alexandr V. Dushkin – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Larisa G. Gagarina – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Anatoly A. Horev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-9074-385X
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Optolink LLC (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC “NIIME” (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2441-7455
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJSC Company
“Synopsys Armenia” (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2023
© MIET, 2023
4
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2023 28(1)
Стр.6
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyants – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov – PhD, Prof., University of Waterloo (Canada),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
Orel State University named after I. S. Turgenev (Orel, Russia),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Vyacheslav V. Svetukhin – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
SMC “Technological Centre” (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Doronina I. M.
Chief editors Tikhonova A. V., Proskuryakova I. V.
Make-up Ryzhkov S. Yu., Ryzhkov A. Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET,
editorial office of the Journal “Proceedings of Universities. Electronics”.
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s and printery addresses: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET.
Signed to print 14.02.2023. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 16,74. Number of copies 130. Order no. 21. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific results
of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following groups of specialties:
2.2.2. Electronic component base of micro- and nanoelectronics, quantum devices
2.2.8. Material, product, substance and natural environment control and diagnostic techniques and devices
2.3.1. System analysis, information handling and processing
2.3.3. Process industries automation and control
2.3.5. Mathware and software for computer systems, complexes and networks
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
Is the member of Crossref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue “Russian Press” LLC “Agency “Book-Service” – 38934.
The subscription index in catalogue “Periodicals. Newspapers and magazines”
LLC “Ural-Press Okrug” – 47570.
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2023 28(1)
5
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Electronics materials
Silakov G. O., Lazorkina E. N., Gavrilov S. A., Volovlikova O. V., Zheleznyakova A. V., Dudin A. A.
Investigation of the reactive capability of the por-Si/Pd structure to the ethanol vapors .............................. 7
Dronova D. A., Dronov A. A. Investigation of electrochemical properties of the anode of Na-ion battery
based on nanotubular anodic TiO2 ....................................................................................................... 17
Dmitriev V. K., Il’ichev E. A., Kirpilenko G. G., Petrukhin G. N., Rychkov G. S. , Frolov V. D.
Characteristics of amorphous silicon-carbon and metal-silicon-carbon films, areas of possible applications.
Review ............................................................................................................................................. 24
Technological processes and routes
Gromov D. G., Dubkov S. V., Savitskiy A. I., Gavrilov S. A. Features of the nanoparticles and binary
nanoalloys formation during thermal evaporation and condensation on an inert surface in vacuum ............ 49
Alekseyev А. V., Pereverzeva S. Yu., Ryazanov R. M., Gromov D. G. Features of supercapacitor composite
electrode material CNT/RuO2·xH2O preparation via electrophoretic co-deposition .......................... 59
Integrated electronics elements
Belov E. N., Korolev M. A. Investigation of an electrical transient process effect on the results of measuring
the thermal resistance of IC by an indirect method based on a thermally sensitive parameter ............ 79
Yakunina N. V., Nekrasov N. P., Nevolin V. K., Bobrinetskiy I. I. Conductivity switching in lateral
channels based on MXene Ti3C2Tx ............................................................................................................ 88
Integrated radioelectronic devices
Dvornikov O. V., Tchekhovsky V. A., Prokopenko N. N., Galkin Ya. D., Kunts A. V., Chumakov V. E.
A high-speed broadband operational amplifiers on a master slice array ......................................................... 96
Information-communication technologies
Efanov D. V., Zueva M. V. Sum codes with a series of weights permutations between data vectors for
technical diagnostics systems .................................................................................................................................. 112
Sotnikov A. V., Shipatov E. A., Shipatov A. V. An algorithm for object extraction in images based on
superpixel fusion....................................................................................................................................................... 129
Conferences
Gagarina L. G. On the results of the 3rd Scientific and Practical Conference with International
Participation “Actual Problems of Informatization in the Digital Economy and Scientific
Research – 2022” ....................................................................................................................................... 140
30th All-Russian Interuniversity Scientific and Technical Conference of Students, Graduate Students
and Young Scientists with International Participation “Microelectronics and Informatics – 2023” ......... 142
Instructions for authors ........................................................................................................................... 143
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
6
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2023 28(1)
Стр.8