Вакуумные установки (190,00 руб.)

Стр.2

Стр.194

УДК 621.52(076) ББК 31.77я7 С13 Печатается по решению редакционно-издательского совета Казанского национального исследовательского технологического университета Рецензенты: д-р техн. наук К. Х. Гильфанов канд. техн. наук Ф. Н. Дресвянников С13 Сагдеев Д. И. Вакуумные установки : практикум / Д. И. Сагдеев, С. А. Булаев, В. А. Аляев; Минобрнауки России, Казан. нац. исслед. технол. ун-т. – Казань : Изд-во КНИТУ, 2019. – 196 с. ISBN 978-5-7882-2709-2 Содержит основные теоретические положения вакуумных технологических процессов. Рассмотрены классификация и конструктивные особенности вакуумных установок в рамках лабораторного практикума, состоящего из одиннадцати лабораторных работ. Предназначен для студентов очной формы обучения направления подготовки 15.03.02 «Технологические машины и оборудование», профиль «Вакуумная и компрессорная техника физических установок». Подготовлен на кафедре вакуумной техники электрофизических установок. УДК 621.52(076) ББК 31.77я7 ISBN 978-5-7882-2709-2 © Сагдеев Д. И., Булаев С. А., Аляев В. А., 2019 © Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2019 2

Стр.2

СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ ................................................................................................ 3 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК ............................................................... 5 Классификация вакуумных установок (ВУ) и вакуумных систем (ВС). ................................................................................................ 5 Основые требования, предъявляемые к вакуумным системам .............. 6 Вакуумная гигиена. Классификация чистых помещений ....................... 7 Принципы организации чистых помещений ............................................ 8 ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ ................................................................... 18 Лабораторная работа 1. Конструкции коммутирующих элементов вакуумных систем..................................................................................... 18 Лабораторная работа 2. Типовые вакуумные системы ......................... 29 Лабораторная работа 3. Вакуумная установка для напыления пленок УВН–71П–3 ............................................................................................... 36 Лабораторная работа 4. Типовая установка электродугового распыления УВН–4ЭД ............................................................................. 47 Лабораторная работа 5. Типовая установка магнетронного распыления УВН–4М ............................................................................... 58 Лабораторная работа 6. Типовая вакуумная металлизационная установка УВМ–15У ................................................................................ 69 Лабораторная работа 7. Типовая вакуумная напылительная установка УВН–8М .................................................................................. 95 Лабораторная работа 8. Типовая вакуумная электропечь сопротивления СЭВ–5,5/16 .................................................................... 112 Лабораторная работа 9. Типовая вакуумная сублимационная установка УВС–8 .................................................................................... 133 Лабораторная работа 10. Оценка распределения двойного лучепреломления в получаемых покрытиях по интерференционной окраске ..................................................................................................... 157 Лабораторная работа 11. Вакуумная напылительная магнетронная установка ВАТТ 700–2М ....................................................................... 175 194

Стр.194