Организация контроля и моделирование технологического процесса (600,00 руб.)

Стр.3

Стр.41

УДК 621.382 ББК 30.61/67 П16 Издание доступно в электронном виде по адресу https://bmstu.press/catalog/item/6936/ Факультет «Машиностроительные технологии» Кафедра «Электронные технологии в машиностроении» Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве практикума Панфилова, Е. В. П16 Организация контроля и моделирование технологического процесса : практикум. — Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. — 35, [5] с. : ил. ISBN 978-5-7038-5469-3 Рассмотрены вопросы, связанные с планированием и проведением эксперимента в электронной промышленности и наноинженерии, анализом полученных результатов и практическим применением методов моделирования технологического процесса и параметров его продукта. Представлена методология планирования и обработки результатов многофакторного эксперимента. Описано домашнее задание и даны рекомендации к его выполнению. Для студентов, изучающих дисциплины «Техника эксперимента в электронике и наноэлектронике», «Научно-исследовательская работа», «Анализ и синтез технических решений». УДК 621.382 ББК 30.61/67 Учебное издание Панфилова Екатерина Вадимовна Организация контроля и моделирование технологического процесса Оригинал-макет подготовлен в Издательстве МГТУ им. Н.Э. Баумана. В оформлении использованы шрифты Студии Артемия Лебедева. Подписано в печать 27.11.2020. Формат 60×90/16. Усл. печ. л. 2,5. Тираж 50 экз. Изд. № 651-2019. Заказ Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана. 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1. press@baumanpress.ru https://bmstu.press Отпечатано в типографии МГТУ им. Н.Э. Баумана. 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1. baumanprint@gmail.com ISBN 978-5-7038-5469-3 © МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020 © Оформление. Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020

Стр.3

Оглавление Предисловие ........................................................................................ 3 1. Теоретическая часть ........................................................................ 4 1.1. Моделирование технологических процессов в микрои наноэлектронике ................................................................... 4 1.2. Методология математического моделирования технологических процессов ..................................................... 6 1.3. Планирование, проведение эксперимента и обработка его результатов .......................................................................... 7 1.3.1. Планирование эксперимента ......................................... 7 1.3.2. Полный факторный эксперимент ................................. 8 1.3.3. Дробный факторный эксперимент ................................ 11 2. Описание домашнего задания. Рекомендации к выполнению ................................................................................. 13 2.1. Цель выполнения и тематика................................................... 13 2.2. Задание...................................................................................... 13 2.3. Исходные данные ..................................................................... 14 2.4. Содержание работы .................................................................. 14 2.5. Отчет о выполнении ................................................................. 16 2.6. Оценка качества выполнения .................................................. 16 Вопросы для самоконтроля и подготовки к проверке уровня готовности к защите домашнего задания ........................................... 17 Рекомендуемые литературные источники ......................................... 18 Приложение 1. Пример отчета о выполнении домашнего задания .. 19 Приложение 2. Статистические таблицы .......................................... 31

Стр.41