ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 27, № 6, 2022
ноябрь – декабрь
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр
экспертизы» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Беспалов Владимир Александрович – чл.-корр. РАН, д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Боргардт Николай Иванович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гагарина Лариса Геннадьевна – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Душкин Александр Викторович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Коноплёв Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Национальный исследовательский
ядерный университет «МИФИ» (Москва, Россия)
© «Известия вузов. Электроника», 2022
© МИЭТ, 2022
Стр.3
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий
микроэлектроники РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Светухин Вячеслав Викторович – чл.-корр. РАН, д.физ.-мат.н., проф.,
НПК «Технологический центр» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Орловский государственный университет им. А. С. Тургенева (Орёл, Россия),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Хорев Анатолий Анатольевич – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией И. М. Доронина
Редактор А. В. Тихонова
Корректор И. В. Проскурякова
Верстка А. Ю. Рыжков, С. Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 08.12.2022. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 15,81 усл.печ.л., 13,712 уч.-изд.л. Тираж 130 экз. Заказ № 8. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы основные
научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени
доктора наук по следующим группам специальностей:
2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
2.2.8. Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды
2.3.1. Системный анализ, управление и обработка информации
2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
2.3.5. Математическое и программное обеспечение вычислительных систем, комплексов и компьютерных
сетей
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Является членом Crossref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге «Пресса России» ООО «Агентство «Книга-Сервис» – 38934.
Подписной индекс в каталоге «Периодические издания. Газеты и журналы»
ООО «Урал-Пресс Округ» – 47570.
690
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(6)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Штерн М. Ю. Наноструктурированные термоэлектрические материалы для температур
200–1200 К, полученные искровым плазменным спеканием .............................................................. 695
Царик К. А., Некрасов Н. П., Неволин В. К., Бобринецкий И. И. Особенности формирования
структур подвешенного графена над массивом микроразмерных пор ............................................... 707
Технологические процессы и маршруты
Горностай-Польский В. С., Шевяков В. И. Исследование влияния плазменной обработки на
свойства сформированных химическим осаждением из газовой фазы тонких пленок нитрида титана
........................................................................................................................................................... 715
Громов Д. Г., Ерицян Г. С., Кицюк Е. П., Савицкий А. И., Скорик С. Н., Дубков С. В.,
Гринаковский Е. Д., Булярский С. В., Дудин А. А., Волкова Л. С., Еганова Е. М., Трифонов А. Ю.,
Поляков М. В., Орлов А. П., Рудаков Г. А., Светухин В. В. Формирование планарных автоэмиссионных
приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Co-Nb-N-(O) ................................ 723
Схемотехника и проектирование
Котляров Е. Ю., Путря М. Г., Михайлов В. Ю., Зубов И. А., Васильев Е. С. Разработка прототипа
микросхемы малошумящего усилителя для приемного тракта NB-IoT-системы ................ 740
Гуров К. О., Миндубаев Э. А., Данилов А. А. Достижение стабильной выходной мощности и
эффективности усилителя мощности класса E при изменении собственной индуктивности
частотного фильтра и сопротивления нагрузки.................................................................................... 753
Джанполадов В. А., Гаврилов С. В. Прогнозирование мощности утечки на основе машинного
обучения на этапе планировки физического проектирования ИС ...................................................... 763
Заплетина М. А. Решение задачи трассировки на ПЛИС с применением модели расширенного
смешанного графа коммутационных ресурсов ..................................................................................... 774
Информационно-коммуникационные технологии
Гагарина Л. Г., Чирков А. В. Алгоритм обнаружения и распознавания болезней растений с использованием
каскадных классификаторов .......................................................................................... 787
Кирьянов А. А., Беневоленский С. Б., Сироткин В. Ю. Разработка алгоритма функционирования
и особенности обучения когнитивного модуля искусственного интеллекта роботизированной
системы тепличного растениеводства ...................................................................................... 795
Алимагадов К. А., Умняшкин С. В. Подавление белого шума на изображениях на основе
винеровской фильтрации в области дискретного вейвлет-преобразования с применением нейросетевых
технологий ................................................................................................................................. 807
Тематический указатель статей, опубликованных в 2022 году ........................................................ 819
К сведению авторов .............................................................................................................................. 823
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(6)
691
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 27, No. 6, 2022
November – December
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Vladimir A. Bespalov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Nikolay I. Borgardt – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Alexandr V. Dushkin – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Larisa G. Gagarina – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Anatoly A. Horev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Optolink LLC (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC “NIIME” (Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJSC Company
“Synopsys Armenia” (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2022
© MIET, 2022
692
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(6)
Стр.6
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyants – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov – PhD, Prof., University of Waterloo (Canada),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
Orel State University named after I. S. Turgenev (Orel, Russia),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Vyacheslav V. Svetukhin – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
SMC “Technological Centre” (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Doronina I. M.
Chief editors Tikhonova A. V., Proskuryakova I. V.
Make-up Ryzhkov S. Yu., Ryzhkov A. Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET,
editorial office of the Journal “Proceedings of Universities. Electronics”.
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s and printery addresses: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET.
Signed to print 08.12.2022. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 15,81. Number of copies 130. Order no. 8. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific results
of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following groups of specialties:
2.2.2. Electronic component base of micro- and nanoelectronics, quantum devices
2.2.8. Material, product, substance and natural environment control and diagnostic techniques and devices
2.3.1. System analysis, information handling and processing
2.3.3. Process industries automation and control
2.3.5. Mathware and software for computer systems, complexes and networks
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
Is the member of Crossref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue “Russian Press” LLC “Agency “Book-Service” – 38934.
The subscription index in catalogue “Periodicals. Newspapers and magazines”
LLC “Ural-Press Okrug” – 47570.
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(6)
693
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Electronics materials
Shtern M. Yu. Nanostructured thermoelectric materials for temperatures from 200 to 1200 K
obtained by spark plasma sintering ........................................................................................................... 695
Tsarik K. A., Nekrasov N. P., Nevolin V. K., Bobrinetskiy I. I. Features of the formation of suspended
graphene structures over an array of microsized pores ......................................................................... 707
Technological processes and routes
Gornostay-Polsky V. S., Shevyakov V. I. Investigation of the effect of plasma treatment on the properties
of titanium nitride thin films formed by chemical vapor deposition ................................................ 715
Gromov D. G., Eritsyan G. S., Kitsyuk E. P., Savitsky A. I., Skorik S. N., Dubkov S. V.,
Grinakovskiy E. D., Bulyarskiy S. V., Dudin A. A., Volkova L. S., Eganova E. M., Trifonov A. Yu.,
Poliakov M. V., Orlov A. P., Rudakov G. A., Svetukhin V. V. Formation of planar field-emission
devices based on carbon nanotubes on Co-Nb-N-(O) alloy ...................................................................... 723
Circuit engineering and design
Kotlyarov E. Yu., Putrya M. G., Mikhailov V. Yu., Zubov I. A., Vasilyev E. S. CMOS 0.18 µm lownoise
amplifier concept design for NB-IoT receive path ........................................................................... 740
Gurov K. O., Mindubaev E. A., Danilov A. A. Achieving stable output power and efficiency of
a class E power amplifier while changing the self-inductance of the frequency filter and the load resistance
...................................................................................................................................................... 753
Janpoladov V. A., Gavrilov S. V. A machine learning-based leakage power prediction at floorplan
stage of IC physical design ........................................................................................................................ 763
Zapletina M. A. Solving the FPGA routing problem using the model of an extended mixed routing
graph .......................................................................................................................................................................... 774
Information-communication technologies
Gagarina L. G., Chirkov A. V. Algorithm for plant disease detection and recognition using cascade
classifiers ................................................................................................................................................................... 787
Kir’yanov A. A., Benevolenskiy S. B., Sirotkin V. Yu. Operation algorithm development and learning features
of the cognitive module of artificial intelligence of a robotic system for greenhouse crop production ..... 795
Alimagadov K. A., Umnyashkin S. V. White noise suppression based on Wiener filtering using
neural networks technologies in the domain of discrete wavelet transform ................................................... 807
Thematic index of articles published in 2022 .......................................................................................... 819
Instructions for authors ........................................................................................................................... 823
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
694
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(6)
Стр.8