ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 26, № 3-4, 2021
май – июнь
июль – август
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр
экспертизы» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Грибов Борис Георгиевич – чл.-корр. РАН, д.хим.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Коноплев Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Кубарев Юрий Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., Академия инженерных наук
им. А.М. Прохорова (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Максимов Иван Александрович – PhD, проф., Университет города Лунд (Швеция),
ORCID: 0000-0003-1944-4878
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
© “Известия вузов. Электроника”, 2021
© МИЭТ, 2021
Стр.3
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий
микроэлектроники РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Институт электронной инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией С.Г. Зверева
Редактор А.В. Тихонова
Научный редактор С.Г. Зверева
Корректор И.В. Проскурякова
Верстка А.Ю. Рыжков, С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 22.06.2021. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 16,275 усл.печ.л., 14,58 уч.-изд.л. Тираж 200 экз. Заказ № 4. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук по следующим группам специальностей:
05.11.00 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
05.13.00 Информатика, вычислительная техника и управление
05.27.00 Электроника
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Является членом Cross Ref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге «Пресса России» ООО «Агентство «Книга-Сервис» – 38934
202
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2021 26(3-4)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Вигдорович Е.Н. Прогнозирование условий хлоридно-гидридной эпитаксии слоев
Ga1–yInyAs1–xPx, изопериодных с GaAs и GaAs1–xPx ............................................................................... 207
Зайцева Ю.С., Боргардт Н.И., Приходько А.С., Zallo E., Calarco R. Электронномикроскопические
исследования структуры тонких эпитаксиальных слоев Ge2Sb2Te5, выращенных
на подложке Si(111) ......................................................................................................................... 214
Технологические процессы и маршруты
Abazyan S.S., Melikyan V.Sh. Power and Ground Metal Insertion into Integrated Circuit Design
Combined with Timing Aware Dummy Metal Fill Insertion
(Абазян С.С., Меликян В.Ш. Конструирование шин питания и заземления в интегральной
схеме с вставкой фиктивного металлического заполнителя с учетом временных параметров) ...... 226
Новак А.В., Новак В.Р., Румянцев А.В. Особенности процесса изготовления кремниевых игл
для кантилеверов ..................................................................................................................................... 234
Тихонов Р.Д., Поломошнов С.А., Амеличев В.В., Черемисинов А.А., Ковалев А.М. Формирование
пленок тройной системы CoNiFe электрохимическим осаждением ........................................ 246
Чугунов Е.Ю., Погалов А.И., Тимошенков С.П. Инженерные расчеты узлов и сборок изделий
микроэлектронной техники с применением конечно-элементного моделирования ......................... 255
Каракеян В.И., Харламов Н.Р., Рябышенков А.С. Оценка профессиональных рисков в технологических
помещениях на предприятии микроэлектроники............................................................. 265
Схемотехника и проектирование
Melikyan V.Sh., Gevorgyan V.S. High Accuracy Two-Step Flash ADC with Changeable Comparison
Range Using Latch Based Comparator
(Меликян В.Ш., Геворгян В.С. Высокоточный двухступенчатый АЦП с изменяемым диапазоном
сравнения с использованием компаратора на основе защелки) .................................................. 273
Волобуев С.В., Рябцев В.Г. Особенности интерфейса устройства тестового диагностирования
памяти DDR SDRAM .............................................................................................................................. 282
Информационно-коммуникационные технологии
Степанов Н.В. Оценка вероятности выполнения целевых функций автомата видеоконтроля .... 291
Гагарина Л.Г., Доронина А.А., Фомин Р.А., Чухляев Д.А. Исследование управляемости билинейных
систем с ограниченным управлением ...................................................................................... 302
Гостева А.А., Матузко А.К., Якубайлик О.Э. Исследование антропогенных изменений в городском
ландшафте по данным инфракрасного диапазона Landsat-8 ................................................ 314
Краткие сообщения
Злобин А.В., Клюкин В.И., Николаенков Ю.К. Моделирование блока восстановления тактовой
частоты и данных на основе схемы фазовой автоподстройки частоты ....................................... 324
Гундарцев М.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Шараева В.П. Применение методологии
энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений
в микроэлектронике ................................................................................................................................ 328
Юбилеи
Неволину Владимиру Кирилловичу – 80 лет...................................................................................... 333
Чаплыгину Юрию Александровичу – 70 лет ...................................................................................... 335
Конференции
Харач О.Г. Об итогах 28-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции
студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика – 2021» .............................................. 337
X Юбилейная Всероссийская с международным участием научно-техническая
конференция «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем»
(МЭС-2021) ........................................................................................................................ 2-я стр. обложки
К сведению авторов .............................................................................................................................. 339
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2021 26(3-4)
203
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 26, No. 3-4, 2021
May – June
July – August
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Boris G. Gribov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Chem.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Optolink LLC (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Yuri V. Kubarev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Prokhorov Academy of Engineering Sciences
(Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Ivan A. Maksimov - PhD, Prof., Lund University (Sweden), ORCID: 0000-0003-1944-4878
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJSC Company
«Synopsys Armenia» (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2021
© MIET, 2021
204
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2021 26(3-4)
Стр.6
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical Institute of the RAS
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov - PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia) , ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Zvereva S.G.
Chief editors Tikhonova A.V., Proskuryakova I.V.
Make-up Ryzhkov S.Yu., Ryzhkov A.Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET,
editorial office of the Journal «Proceedings of Universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Signed to print 22.06.2021. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 16,275. Number of copies 200. Order no. 4. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following
groups of specialties:
05.11.00 Instrumentation, metrology and information-measuring devices and systems
05.13.00 Computer science, computer engineering and management
05.27.00 Electronics
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
Is the member of Cross Ref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue «Russian Press» LLC «Agency «Book a Service» – 38934
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2021 26(3-4)
205
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Electronics materials
Isoperiod Layers with GaAs and GaAs1–xPx .............................................................................................. 207
Zaytseva Yu.S., Borgardt N.I., Prikhodko A.S., Zallo E., Calarco R. Electron Microscopy Studies of
Vigdorovich E.N. Prediction of the Conditions of Chloride-Hydride Epitaxy of Ga1–yInyAs1–xPx
the Structure of Thin Epitaxial Ge2Sb2Te5 Layers Grown on Si(111) Substrate ....................................... 214
Technological processors and routes
Abazyan S.S., Melikyan V.Sh. Power and Ground Metal Insertion into Integrated Circuit Design
Combined with Timing Aware Dummy Metal Fill Insertion .................................................................... 226
Novak A.V., Novak V.R., Rumyantsev A.V. Features of the Manufacturing Process of Silicon Tips
for Cantilevers ........................................................................................................................................... 234
Tikhonov R.D., Polomoshnov S.A., Amelichev V.V., Cheremisinov A.A., Kovalev A.M. CoNiFe Triple
System Films Formation by Electrochemical Deposition .................................................................... 246
Chugunov E.Y., Pogalov A.I., Timoshenkov S.P. Engineering Calculations of Microelectronic
Products Parts and Assemblies Using Finite-Element Modeling .............................................................. 255
Karakeyan V.I., Kharlamov N.R., Ryabyshenkov A.S. Occupational Risk Assessment in Engineering
Spaces at the Microelectronics Enterprise ................................................................................................. 265
Circuit engineering and design
Melikyan V.Sh., Gevorgyan V.S. High Accuracy Two-Step Flash ADC with Changeable Comparison
Range Using Latch Based Comparator ..................................................................................................... 273
Volobuev S.V., Ryabtsev V.G. Interface Features of the DDR SDRAM Memory Test Diagnostic
Device........................................................................................................................................................ 282
Information-communication technologies
Stepanov N.V. Estimation of the Automated Video Control Device’s Target Functions Performance
Probability ................................................................................................................................................. 291
Gagarina L.G., Doronina A.A., Fomin R.A., Chukhlyaev D.A. Study of Controllability of Bilinear
Systems with Limited Control ................................................................................................................... 302
Gosteva A.A., Matuzko A.K., Yakubailik O.E. Study of Anthropogenic Changes in the Urban Landscape
Based on the Landsat-8 Infrared Range ........................................................................................... 314
Brief reports
Zlobin A.V., Klyukin V.I., Niсkolaenkov Yu.K. Clock Signal and Data Recovery Unit Modeling
Based on Phase-Locked-Frequency Scheme ............................................................................................. 324
Gundartsev M.A., Karakeyan V.I., Ryabyshenkov A.S., Sharaeva V.P. Energy and Environment
Analysis Methodology Application for the Study of the Clean Room Air Removal System in Microelectronics
................................................................................................................................................... 328
Anniversaries
Nevolin Vladimir Kirillovich is 80 years old .......................................................................................... 333
Chaplygin Yury Aleksandrovich is 70 years old ..................................................................................... 335
Conferences
Harach O.G. About the Results of the 28 All-Russian Interuniversity Scientific and Technical
Conference of Students and Graduate Students «Microelectronics and Informatics – 2021» ................... 337
X Anniversary All-Russian Scientific and Technical Conference with International
Participation «Problems of Development of Advanced Micro- and Nanoelectronic Systems»
(MES-2021) .................................................................................................................................. 2 cover page
Instructions for authors ........................................................................................................................... 339
206
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2021 26(3-4)
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Стр.8