Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 24, № 6, 2019
ноябрь – декабрь
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия)
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия)
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр экспертизы»
(Москва, Россия)
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия)
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь)
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт им.
П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Грибов Борис Георгиевич – чл.-корр. РАН, д.хим.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Коноплев Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия)
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Кубарев Юрий Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., ООО «Центр плазменных и вакуумных
технологий» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь)
Максимов Иван Александрович – PhD, проф., Университет города Лунд (Швеция)
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения)
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия)
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
© “Известия вузов. Электроника”, 2019
© МИЭТ, 2019
Стр.3
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий микроэлектроники
РАН (Москва, Россия)
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия)
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф., Институт электронной
инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова)
Таиров Юрий Михайлович – д.т.н., проф., Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия)
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания)
Заведующая редакцией С.Г. Зверева
Редактор А.В. Тихонова
Научный редактор С.Г. Зверева
Корректор И.В. Проскурякова
Верстка А.Ю. Рыжков, С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 06.12.2019. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 11,6 усл.печ.л., 10,53 уч.-изд.л. Тираж 180 экз. Заказ № 20. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Является членом Cross Ref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге Агентства «Роспечать» – 47570
542
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(6)
Стр.4
СОДЕРЖАНИЕ
Технологические процессы и маршруты
Тихонов Р.Д., Поломошнов С.А., Амеличев В.В., Костюк Д.В., Черемисинов А.А. Анализ
электрохимического процесса осаждения пленок пермаллоя ............................................................. 547
Громов Д.Г., Дубков С.В., Ерицян Г.С., Савицкий А.И., Быков В.А., Бобров Ю.А. Термическая
стабилизация геометрических параметров массива наночастиц серебра, полученного вакуумтермическим
испарением на ненагретую подложку ............................................................................ 557
Погалов А.И., Титов А.Ю., Тимошенков С.П. Термомеханическая прочность соединений
элементов в микроэлектронных модулях .............................................................................................. 565
Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Гундарцев М.А. Эксергетический анализ системы воздухообмена
в чистых помещениях ................................................................................................................ 573
Элементы интегральной электроники
Рязанцев Д.В., Кузнецов Е.В. Локальный нагрев интегрального МОП-дозиметра для отжига
накопленного заряда ............................................................................................................................... 581
Кожевников В.С., Матюшкин И.В., Черняев Н.В., Жукова Т.Д. Взаимосвязь физической и
информационной энтропий в теории надежности для наноразмерных элементов ........................... 589
Схемотехника и проектирование
Кулакова А.А., Лукьяненко Е.Б. Блочный метод синтеза триггерных схем с использованием
карт минтермов ........................................................................................................................................ 601
Кузьминов И.В., Лосев В.В., Новожилов И.С., Чаплыгин Ю.А. Алгоритм компрессии и декомпрессии
потока конфигурационных данных ПЛИС ...................................................................... 610
Микро- и наносистемная техника
Аунг Тхура, Симонов Б.М., Тимошенков Ан.С. Исследование стойкости МЭМСакселерометров
емкостного типа к внешним механическим воздействиям ...................................... 619
От Российской академии наук ............................................................................................................. 627
Юбилеи
Гаврилову Сергею Витальевичу – 60 лет ............................................................................................ 628
Конференции
Об итогах 2-й Международной конференции «Микроэлектронные приборы и технологии»
(MicDAT’ 2019), 22–24 мая 2019 г., г. Амстердам, Голландия ........................................................... 629
3rd International Conference on Microelectronic Devices and Technologies (MicDAT`2020),
17–19 June 2020, Tenerife (Canary Islands), Spain .......................................................... 2-я стр. обложки
Тематический указатель статей, опубликованных в 2019 году ........................................................ 631
К сведению авторов .............................................................................................................................. 635
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(6)
543
Стр.5
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 24, No. 6, 2019
November – December
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia)
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia)
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian)
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus)
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia)
Boris G. Gribov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Chem.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia)
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., SMS «Optolink» (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Yuri V. Kubarev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., LLC «Center for Plasma and Vacuum Technologies»
(Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus)
Ivan A. Maksimov - PhD, Prof., Lund University (Sweden)
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJS Company
«Sinopsis, Armenia» (Yerevan, Armenia)
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical Institute of the RAS
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia)
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia)
Andrey Y. Sazonov - PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2019
© MIET, 2019
544
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(6)
Стр.6
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova)
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia)
Yury M. Tairov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Saint-Petersburg Electrotechnical University (LETI)
(St. Petersburg, Russia)
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia)
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain)
Head of editorial staff Zvereva S.G.
Chief editors Tikhonova A.V., Proskuryakova I.V.
Make-up Ryzhkov S.Yu., Ryzhkov A.Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET, editorial
office of the Journal «Proceedings of Universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Signed to print 06.12.2019. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 11,6. Number of copies 180. Order no. 20. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
Is the member of Cross Ref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue of Agency Rospechat – 47570
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(6)
545
Стр.7
CONTENTS
Technological processes and routes
Tikhonov R.D., Polomoshnov S.A., Amelichev V.V., Kostuk D.V., Cheremisinov A.A. Analysis of
Electrochemical Deposition Process of Permalloy Films .......................................................................... 547
Gromov D.G., Dubkov S.V., Eritsyan G.S., Savitsky A.I., Bykov V.A., Bobrov Yu.A. Thermal Stabilization
of Geometric Parameters of a Silver Nanoparticles Array Obtained by Vacuum-Thermal
Evaporation on Unheated Substrate .......................................................................................................... 557
Pogalov A.I., Titov A.Yu., Timoshenkov S.P. Thermomechanical Strength of Connections of
Elements in Microelectronic Modules ....................................................................................................... 565
Karakeyan V.I., Ryabyshenkov A.S., Gundartsev M.A. Exergetic Analysis of Air Exchange System
of Clean Rooms ......................................................................................................................................... 573
Integrated electronics elements
Ryazantsev D.V., Kuznetsov E.V. Local Heating of Integrated MOSFET Dosimeter for Annealing
Charge ....................................................................................................................................................... 581
Kozhevnikov V.S., Matyushkin I.V., Chernyaev N.V., Zhukova T.D. Correlation of Physical and
Information Entropies in Reliability Theory for Nanosize Elements ........................................................ 589
Circuit engineering and design
Kulakova A.A., Lukyanenko E.B. Block Method of Synthesis of Trigger Circuits Using Maps of
Minterms ................................................................................................................................................... 601
Kuzminov I.V., Losev V.V., Novozhilov I.S., Chaplygin Yu.A. Algorithm for Compression and
Decompression of the FPGA Configuration Bit Stream ........................................................................... 610
Micro- and nanosystem technology
Aung Thura, Simonov B.M., Timoshenkov An.S. Study on Resistance of Samples of Capacitive
Type Micromecanical Accelerometers to Mechanical Stress .................................................................... 619
From the Russian Academy of Sciences ................................................................................................. 627
Anniversaries
Gavrilov Sergey Vitalievich is 60 years old ............................................................................................ 628
Conferences
Results of the 2nd International Conference on Microelectronic Devices and Technologies
(MicDAT`2019), 22–24 May 2019, Amsterdam, the Netherlands ............................................................ 629
3rd International Conference on Microelectronic Devices and Technologies (MicDAT`2020),
17–19 June 2020, Tenerife (Canary Islands), Spain ................................................................... 2 cover page
Thematic index of articles published in 2019 .......................................................................................... 631
Instructions for authors ........................................................................................................................... 635
546
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(6)
Стр.8