Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 24, № 4, 2019
июль – август
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия)
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия)
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр экспертизы»
(Москва, Россия)
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия)
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь)
Горбацевич Александр Алексеевич – чл.-корр. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Грибов Борис Георгиевич – чл.-корр. РАН, д.хим.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Коноплев Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия)
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Кубарев Юрий Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., Фонд «Сколково», ООО «Центр плазменных
и вакуумных технологий» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь)
Максимов Иван Александрович – PhD, проф., Университет города Лунд (Швеция)
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения)
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия)
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
© “Известия вузов. Электроника”, 2019
© МИЭТ, 2019
Стр.3
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий микроэлектроники
РАН (Москва, Россия)
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия)
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф., Институт электронной
инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова)
Таиров Юрий Михайлович – д.т.н., проф., Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия)
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания)
Заведующая редакцией С.Г. Зверева
Редактор А.В. Тихонова
Научный редактор С.Г. Зверева
Корректор И.В. Проскурякова
Верстка А.Ю. Рыжков, С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 12.08.2019. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 12,555 усл.печ.л., 11,136 уч.-изд.л. Тираж 180 экз. Заказ № 18. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Является членом Cross Ref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге Агентства «Роспечать» – 47570
326
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(4)
Стр.4
СОДЕРЖАНИЕ
Фундаментальные исследования
Сибатов Р.Т., Морозова Е.В., Костишко Б.М., Светухин В.В., Кицюк Е.П., Павлов А.А.
Модель аномальной диффузии для описания импеданса литий-ионного аккумулятора ................. 331
Материалы электроники
Неустроев С.А., Неустроев Н.С. Образование ковалентных связей между центральными атомами
базовых плоскостей сопряженных призм кубического углерода под воздействием внешнего
давления ............................................................................................................................................... 342
Технологические процессы и маршруты
Рудаков Г.А., Парамонов В.В. Применение метода комплексного планирования эксперимента
для оптимизации процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния ................. 350
Печерская Е.А., Голубков П.Е., Карпанин О.В., Артамонов Д.В., Сафронов М.И.,
Печерский А.В. Исследование влияния технологических параметров процесса микродугового
оксидирования на свойства оксидных покрытий ................................................................................. 363
Полунина А.А., Петров В.С., Ханбеков И.Ф., Ли И.П., Гайдар А.И., Локтев Д.Н. Термическое
активирование геттеров в технологии производства магнетронов .............................................. 370
Элементы интегральной электроники
Королёв М.А., Мордкович В.Н., Леонов А.В., Девликанова С.С. Исследование КНИ полевых
датчиков Холла в режиме неполного обеднения .................................................................................. 383
Асаёнок М.А., Зеневич А.О., Новиков Е.В. Кинетика и амплитуда фотоотклика кремниевых
фотоэлектронных умножителей ............................................................................................................. 391
Павлова М.Д., Дегтерев А.Э., Ламкин И.А., Тарасов С.А. Влияние параметров процесса формирования
нанокомпозитного слоя «фталоцианин:фуллерен» на фотоэлектрические характеристики
структур ZnPс:C60/C60 ..................................................................................................................... 398
Микро- и наносистемная техника
Губанова О.В., Кузнецов Е.В., Рыбачек Е.Н., Сауров А.Н. Биосенсор на основе химически
чувствительного нанопроволочного полевого транзистора с минимальным контактом к плавающему
затвору ..................................................................................................................................... 407
Информационно-коммуникационные технологии
Петров Е.Н., Гагарина Л.Г. Разработка программного модуля динамического управления
вводом-выводом библиографических данных ...................................................................................... 415
Краткие сообщения
Лупин С.С. Имитационная модель для оценки эффективности процессов сбора и переработки
промышленных отходов ......................................................................................................................... 423
Гончаров И.Н., Козырев Е.Н., Урумов В.В. Оптимизация усилительной способности двухкамерных
электронно-оптических преобразователей ............................................................................. 428
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(4)
327
Стр.5
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 24, No. 4, 2019
July – August
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia)
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia)
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian)
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus)
Aleksandr A. Gorbatsevich – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia)
Boris G. Gribov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Chem.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia)
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., SMS «Optolink» (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Yuri V. Kubarev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., The Skolkovo Foundation, LLC «Center for
Plasma and Vacuum Technologies» (Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus)
Ivan A. Maksimov - PhD, Prof., Lund University (Sweden)
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJS Company
«Sinopsis, Armenia» (Yerevan, Armenia)
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical Institute of the RAS
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia)
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia)
Andrey Y. Sazonov - PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2019
© MIET, 2019
328
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(4)
Стр.6
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova)
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia)
Yury M. Tairov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Saint-Petersburg Electrotechnical University (LETI)
(St. Petersburg, Russia)
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia)
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain)
Head of editorial staff Zvereva S.G.
Chief editors Tikhonova A.V., Proskuryakova I.V.
Make-up Ryzhkov S.Yu., Ryzhkov A.Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET, editorial
office of the Journal «Proceedings of Universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Signed to print 12.08.2019. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 12,555. Number of copies 180. Order no. 18. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
Is the member of Cross Ref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue of Agency Rospechat – 47570
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(4)
329
Стр.7
CONTENTS
Fundamental researches
Sibatov R.T., Morozova E.V., Kostishko B.M., Svetukhin V.V., Kitsyuk E.P., Pavlov A.A. Anomalous
Diffusion Model for Description of Lithium-Ion Cell Impedance ..................................................... 331
Electronics materials
Neoustroev S.A., Neoustroev N.S. Interaction of Elliptic Orbitals in Formation of Covalent Bonds in
Base Planes of Cubic Carbon Conjugated Prisms ..................................................................................... 342
Technological processes and routes
Rudakov G.A., Paramonov V.V. Application of Complex Planning of Experiment Method to Optimize
Process of Deep Anisotropic Silicon Plasma Etching....................................................................... 350
Pecherskaya E.A., Golubkov P.E., Karpanin O.V., Artamonov D.V., Safronov M.I.,
Pecherskiy A.V. Study on Effects of Technological Parameters of Micro-Arc Oxidation on Properties
of Oxide Coatings ...................................................................................................................................... 363
Polunina A.A., Petrov V.S., Khanbekov I.F., Li I.P., Gaidar A.I., Loktev D.N. Thermal Activation
of Getters in Magnetrons Production Technology ..................................................................................... 370
Integrated electronics elements
Korolyov M.A., Mordkovich V.N., Leonov A.V., Devlikanova S.S. Study on SOI Field-Effect Hall
Sensor in Partial Depletion Mode .............................................................................................................. 383
Asayonok M.A., Zenevich A.O., Novikov E.V. Kinetics and Amplitude of Photo Response of Silicon
of Photo-Electronic Multipliers ................................................................................................................. 391
Pavlova M.D., Degterev A.E., Lamkin I.A., Tarasov S.A. Influence of Parameters of Nanocomposite
Layer «Phthalociane:Fullerene» Formation Process on Photoelectric Characteristics of ZnPc:C60/C60
Structures ................................................................................................................................................... 398
Micro- and nanosystem technology
Gubanova O.V., Kuznetsov E.V., Rybachek E.N., Saurov A.N. Biosensor Based on Ion-Sensitive
Field-Effect Transistor Using Minimum Contact to Floating Gate ........................................................... 407
Information-communication technologies
Petrov E.N., Gagarina L.G. Development of Software Module of Dynamic Control for Input/Output
of Bibliographic Data ................................................................................................................................ 415
Brief reports
Lupin S.S. Imitation Model for Estimating Efficiency of Industrial Wastes Collection and Recycling . 423
Goncharov I.N., Kozyrev E.N., Urumov V.V. Increase of Conversion Factor Level in Multi-Camera
Electronic Optical Converters ................................................................................................................... 428
330
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2019 24(4)
Стр.8